行业标准氯硅烷中三氯氧磷三氯化磷的测定.DOC

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2019-08-20 发布于天津
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行业标准氯硅烷中三氯氧磷三氯化磷的测定气相色谱质谱联用法送审稿编制说明工作简况立项目的及意义随着人类社会的科技发展利用清洁能源可再生能源已成为人类的必然选择太阳能风能潮汐能等作为可再生能源的使用已成为科技发展的新方向多晶硅作为太阳能电池的基本材料它的生产工艺及检测方法已成为国内外多家多晶硅生产企业的研究方向三氯氢硅作为生产太阳能级多晶硅的原料高纯三氯氢硅的质量对多晶硅的产品质量起着至关重要的决定而导电类型作为衡量多晶硅产品质量的一个重要检测项目主要是由原料和其他辅助物料中的磷和硼的化合物来决定的

行业标准《氯硅烷中三氯氧磷、三氯化磷的测定 --气相色谱质谱联用法》（送审稿）编制说明工作简况立项目的及意义随着人类社会的科技发展，利用清洁能源、可再生能源已成为人类的必然选择，太阳能、风能、潮汐能等作为可再生能源的使用已成为科技发展的新方向。多晶硅作为太阳能电池的基本材料，它的生产工艺及检测方法已成为国内外多家多晶硅生产企业的研究方向。三氯氢硅作为生产太阳能级多晶硅的原料，高纯三氯氢硅的质量对多晶硅的产品质量起着至关重要的决定。而导电类型作为衡量多晶硅产品质量的一个重要检测项目，主要是由原料和其他辅助物料中的磷和硼的化合物来决定的，而磷作为决定多晶硅导电类型的两大元素之一，如