多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟.pdfVIP

IC 制造与设备 电子工业专用设备 EP E Equipment for Electronic Products Manufacturing 多晶硅锭定向凝固过程的数值模拟 陈国红，王滋渊，肖益波，瞿海斌 ( 中国电子科技集团公司第四十八研究所，湖南长沙410111) 摘 要： 研究了多晶硅锭定向凝固过程中晶体和熔体中的温度分布、 固液界面的温度场，并对定 向凝固过程进行了数值模拟， 对热场对多晶硅晶体生长的影响进行了系统的理论分析和试验验 证。 关键词： 多晶硅锭； 定向凝固过程； 热场； 数值模拟 中图分类号： TN305 文献标识码： A 文章编号： 1004-4507(2009)06-0040-04 Numerical Simulation of Directional Solidification Process for