利用ccd准确测量激光远场发散角.pdfVIP

　第9卷　第4期 强 激 光 与 粒 子 束 . 9, . 4 V o l N o 　1997年11月 H IGH POW ER LA SER AND PA R T ICL E BEAM S N ov. 9, 1997 利用CCD 准确测量激光远场发散角 陈　军　黄　鹏 (浙江大学光科系现代光学仪器国家重点实验室, 杭州 310027) 　　摘　要　利用 CCD 面阵接收器, 通过标定的方法, 将其准确安置在长焦距透 镜后焦面上, 并找出CCD 象元数与原场发散角的对应关系, 从而迅速确定远场发 散角。同时用短焦距透镜对光束限制光阑成像, 测得近场光斑光强分布。以激光束 振幅函数的傅里叶变换作为理想衍射极限, 将远场发散角与之比较, 可以得到用几 倍衍射极限的方法表示的实际光束质量。 　　关键词　远场发散角　CCD 测量 　　激光的远场发散角是评价激光质量的一个重要参数。一方面它反映了远距离传输时的发 散特性, 另一方面它与束腰的乘积则是近年来所广泛讨论的M 2 参数。应用 ISO 统一规范的M 2 法则[ 1 ] 2 D M = ( 1) 4 M 2 则包含了光束质量的综合特性, 较为直观地说明了该光束可聚焦的程度。测量M 2 必须测量 远场发散角。过去常规的远场发散角测量方法有套孔法、刀口法等。这一方法已沿用多年, 目前 也仍为 ISO 组织介绍的一种方法。传统方法在安置套孔于后焦面时有较大的误差, 而我们用 CCD 面阵测量发散角是一种标定方法, 一方面可以将CCD 准确放置在透镜后焦面上以减少 测量误差, 使测量精度上比传统方法有较大提高。另一方面经标定后确定 CCD 象元数与远场 发散角的一一对应关系, 从而可迅速、准确地测出光束在任一方向的远场发散角。特别是对于 由板条激光器产生的矩形光束或其它非圆对称光束, 该方法是十分有效的。 1　CCD 标定及远场发散角测量 1. 1　CCD 标定 　　利用 CCD 测量远场发散角的原理是利用标定方法根据CCD 接收元的准确间距, 将 CCD 准确放置在长焦距透镜的后焦面上, 并测得后焦面上光斑在某个方向上实际尺寸 , 从而得到 d 远场发散角2 = 。具体安置及标定方法有二种, 第一种方法比较准确, 且适用于任何发散 d f 角情况。第二种方法十分方便, 测量与长焦路无关, 但只适用于发射角较小的情况, 当发散角较 大时误差也较大。 　　在第一种安置方法中, 标定及测量光路安置如图1所示。将被测光束通过一反射镜A 反射 后再通过一长焦距透镜, 透镜焦距对使用波长为已知。反射镜安置在一个可微调支架上, 利用 螺旋测微器 使反射镜绕原点 作微小转动。螺旋测微器支点到原点 的距离是准确已知 C O O 国防科技基础研究基金资助项目。 1997年8月11 日收到原稿, 1997年10月5 日收到修改稿。 陈军, 女, 1946年12月出生, 教授, 博士生导师。 © 1995-2005 Tsinghua To