Vacuumspraydeposition喷射模拟研究.PDFVIP

Vacuumspraydeposition 喷射模拟研究 东北大学真空薄膜器件研究组 /jcli/index.html E-mail jcli@ ： 2009年，本研究组首先对真空喷射法制备高分子功能薄膜的研究进展进行了综述【真空 2012,32 (2):95-103 2012,32 (2):95-103 科学与技术学报,3322((22))::9955--110033】，发现该方向主要由日本少数几个研究组进行了初步的研 究与报道，缺乏系统深入的实验及理论研究。2010年我们采用Fluent 软件基于聚合物薄膜 制备过程模拟分析了真空喷射法的射流流场，研究了不同喷射参数如喷嘴直径(0.1、0.2、0.3、 0.4和0.5mm)、喷射压力(1、5、10和20MPa)和有机溶剂(丙酮、三氯甲烷和四氯化碳)对直 线型、锥型、锥直型和抛物