热工测试技术第3章 压力测试技术.ppt

图3.33 压电晶片的等效电路 * 2.测量原理 压电效应是属于静电性质的现象。压电传感器的晶体可以看成为一个产生电荷的高内阻发电元件,它把压力的作用变换为电荷量。由于压电元件的内阻很高且输出信号微弱，一般不能直接记录和显示。显然不能用一般的低输入阻抗仪表来进行测量，否则，压电晶片上的电荷就要通过测量电路的低输入阻抗泄漏掉。只有当测量电路的输入阻抗较高，快速测量被测参数的变化，所测得的结果才接近电荷的实际变化。 * 图3.34 压电式压力传感器测量系统方框图 * 图3.36SYC石英压力传感器 * 3.压电式压力传感器 在压电式压力传感器中，压电晶片一般采用两片或两片以上的晶片组合在一起，以改善其工作性能。其组合方式有并联和串联。图3.35为压电晶片的并联接法。 * 3.6.3 压电式压力传感器的测量线路 由于压电元件测量的特殊性，因此对压电式压力传感器的测量线路有特殊要求。一是要求实现阻抗变换，将压电晶片的高输出阻抗变换成低输出阻抗；二是要求将微弱的输出信号实现放大。测量线路的组成包括前置放大器、输出信号电缆。 此时图3.37的等效电路则必须将前置放大器的输入电阻Ri， 输入电容Ci以及低噪声电缆的电容Cc包括进去，如图3.37所示。 * 图3.37 压电式压力传感器等效电路 * 1.压电式压力传感器测量特点 由于压电式压力传感器是通过测量内部压电晶片上的