电子显微2-像差焦深场深.pptVIP

* * * 电子显微分析 像差 焦深 场深 上面讨论的电子透镜的聚焦成像问题有限制条件，即假定： (透镜电磁场)具有理想的轴对称性 轨迹满足旁轴条件 电子波的波长(速度)相同 实际情况与理想条件偏离，造成电子透镜各种像差 像差的存在，影响图像的清晰度和真实性，决定了透镜只具有一定的分辨本领，从而限制了电子显微镜的分辨本领。 电子透镜的缺陷 像 差： 图像模糊不清 像与物的几何形状不完全相似 导 致 球差 色差 轴上像散 畸变 物面上一点散射出电子束，不能全部会聚在一点 物面上的各点不按比例成像于同一平面 电磁透镜的像差和理论分辨本领 是由于电磁透镜磁场的近轴区和远轴区对电子束的会聚能力不同而造成的。 假设张角最大电子的像落在P点, 张角最小电子的像落在P点, 透镜光阑有一定大小 同是P点发出的电子 当张角不同时, 落在不同点上 透镜 光阑 一、球 差 无论像平面在什么位置，都不能得到一清晰的点像，而是一个一定大小的弥散圆斑。 直径 最小 球差最小弥散圆：在PP间某一位置可获得最小的弥散圆斑。 M——放大倍数；Cs——球差系数；α——孔径半角 球差是电子显微镜最主要的像差之一，它往往决定了显微镜的分辨率。 球差几乎是一种无法克服的像差。 最小弥散圆半径为： 几何光学中由于光颜色(波长)不同，经过透镜折射率不同，在不同点聚焦而产生的像差称色差。 电子光学中，电子透镜成像也有色差。 加速电压的波动及阴极逸出电子能量起伏等原因，使得成像电子的波长不完全相同，使透镜的焦距发生变化。 这种色差使得一个物点变成为某种散射图形，影响了图像的清晰度。 二、色 差 色 差：是由于电磁透镜磁场对不同波长的电子的会聚能力不同而造成的。 一个物点散射的具有不同波长的电子，进入透镜磁场后将沿着各自的轨迹运动，不能聚焦在一个像点上 直径 最小 能量为E的 电子轨迹 象1 透镜 物 P 光轴 能量为E- E的 电子轨迹 象2 引起电子束波长（能量）变化的原因： 加速电压不稳定，引起电子束能量波动。 电子受到一次或多次非弹性散射，致使能量受损。 减小试样厚度利于减小色差。 还原到物平面 色差最小弥散圆半径： Cc——透镜的色差系数（随激磁电流增大而减小） α——孔径半角 ΔE/E——成像电子束能量变化率 由于透镜磁场不是理想旋转对称磁场而引起的像差。 实际的透镜磁场不完全旋转对称，只是近似的双对称场 场分布有两个互相垂直的对称面（XZ面、YZ面） 透镜在不同对称面方向的焦距不同 三、轴上像散 平面B PA 透镜平面 物 P 光轴 PB fA 平面A 若与平面A和B对应的磁场强度不对称，对电子束汇聚能力不同 物点P在XZ平面上成像于P’’点, 在YZ平面上成象于P’点 一物点所成像是椭圆斑，图像不清晰 产生原因：极靴材料不均匀、加工精度、装配误差、污染等 轴上像散是影响电镜分辨本领的主要像差之一 电镜配置有消像散器，尽量校正像散 最小弥散圆半径： 还原到物平面 ΔfA——像散引起的最大焦距差 直径 最小 枕型畸变 桶型畸变 旋转畸变 正方形物 球差系数随激磁电流减小而增大 低放大倍数时易产生畸变 小电流，球差严重 四、畸 变 正球差——枕型畸变 负球差——桶型畸变 磁转角——旋转畸变 远轴区对电子束的会聚能力比近轴区大 远轴区对电子束的会聚能力比近轴区小 受衍射效应、球差、色差、轴上像散等因素的影响 理论分辨本领为0.2nm 随高压电子束做照明源及用低球差透镜，理论可达0.1nm 仅考虑衍射效应和球差时，电磁透镜的理论分辨本领为 A——常数，约0.4~0.5，决定于推导时的不同假设条件。 五、电磁透镜的分辨本领 理论分辨距离 光学显微镜的分辨本领基本上决定于象差和衍射，而象差基本上可以消除到忽略不计的程度，因此，分辨本领主要取决于衍射(Airy斑)。 电子透镜中，不能用大的孔径角，若这样做，球差和象差就会很大，但可通过减小孔径角的方法来减小象差，提高分辨本领，但不能过小。 显微镜的分辨极限是 电镜情况下， ， 因此 可见，光阑尺寸过小和衍射两者所限定，会使分辨本领变坏，这就是说，光阑的最佳尺寸应该是球差的值 式中的f 为透镜的焦距。将 代入可得 目前，通用的较精确的理论分辨公式和最佳孔径角公式为 将各类电镜缺陷的影响减至最小，电子透镜的分辨本领比光学透镜 提高了一千倍左右。 1. 场深（景深） 不影响分辨本领的前提下，物平面可沿透镜轴移动的距离(Df )。 场深反映：