超大规模集成电路制造工艺中对消除1_f噪声影响的研究.pdfVIP

第 一 章 超 大规 模 集 成 电路 面 临 的挑 战和 1/f 噪声 的影 响 第 一 节 集 成 电路发展 的历史和趋 势 集成 电路 是 一种微 型 电子 器 件或 部件 。采 用 一 定 的工 艺 ，把 一个 电路 中所 需 的 晶体 管 、二 极 管 、电阻 、 电容和 电感 等 元 件 及布 线互连 一起 ，制 作在 一 小块 或 几 小块 半 导体 晶片 或介 质 基 片上 ，然 后封 装 在 一个 管 壳 内，成 为 具有 所 需 电路 功 能 的微 型结构 ; 其 中所 有元件 在 结构上 已组 成 一个 整体 ，这 样 ，整个 电路 的体 积 大大缩 小 ，且 引 出线和 焊接 点 的数 目也大 为减 少 ，从而使 电子元 件 向着 微 小型 化 、低 功耗和 高可靠 性方 面迈进 了一大 步 。 它在 电路 中用字 母 “IC ”表 示 。而 集 成 电路 的主要 材 料 一 半 导体一 则 是 贯 穿整 个 社 会 电子产 品 的要 素 。 集成 电路 具有 体积 小 ，重量 轻 ，引 出线和焊接 点少 ，寿 命长 ，可靠 性 高 ， 性 能好 等优 点 ，同时成本低 ，便 于大规模 生产 。它不仅在 工 、民用 电子 设备 如 收 录 机 、电视 机 、计算 机等 方 面 得 到广 泛 的应 用 ，同时在 军事 、通 讯 、遥 控 等 方 面 也得 到广泛 的应 用 。用集 成 电路 来 装 配 电子 设 备 ，其 装 配 密度 比晶体 管 可提 高几 十 倍 至 几千 倍 ，设 备 的稳 定工 作 时 间也 可 大 大 提 高 。 1. 1.工 集 成 电路 的分类 (一 ) 按功 能结构 分类 集 成 电路 按其 功 能 、结构 的不 同，可 以分 为模拟 集成 电路 、数 字 集 成 电路和 数 /模 混合 集成 电路 三 大集 成 电路 类 。 模拟集 成 电路又称 线性 电路 ，用来 产 生 、放 大和 处理各种 模 拟 信 号 (指 幅度 随 时 间变化 的信 号 。一例 如 半 导 体 收音机 的音 频 信 号 、录放机 的磁 带信 号等 )，其 输 入 信 号和 输 出信 号成 比例 关 系 。而 数 字 集 成 电路用 来产 生 、放 大 和 处 理 各 种 数 字 信 号 (指在 时 间上和 幅度 上 离散取值 的信 号 。例如 3G 手机 、数码相机 、 电脑 CPU 、数 字 电视 的逻 辑 控 制 和 重放 的音 频信 号和 视频 信 号 )。 (二 ) 按 制 作 工 艺 分 类 集 成 电路 按 制 作 工 艺 可 分 为 半 导 体 集 成 电路 和 膜 集 成 电路 。膜 集 成 电路 又 分 类 厚膜 集 成 电路 和 薄膜 集成 电路 。 (三 ) 按集 成度 高低 分类 集 成 电路 按集 成度 高低 的不 同可分 为 ssx 小规 模 集 成 电路 (sma l1 sCa le xntegra ted e ireu i七s) M s l 中规 模 集 成 电路 (M ed ium sea le Inte、ra ted e ir eu its) L sl 大 规模 集 成 电路 (Large sCa le Integrated e ireu its) vLsl 超 大 规 模 集 成 电路 (very Lar ge Scale In tegra :ed c ircu its) uLs l 特 大 规模 集 成 电路 (u ltra Large Sea le Integrated eireu its) GSI 巨大规模 集 成 电路 也被 称 作 极 大规模 集 成 电路 或超 特 大 规 模 集 成 电路 (G iga Sea le Integrati。n) 。[1〕 (四) 按 导 电类 型不 同分类 集 成 电路 按 导 电类 型 可分 为双 极 型集 成 电路和 单 极 型集 成 电路 ，他 们 都 是 数字 集成 电路 . 双极 型集 成 电路 的制作工 艺复杂 ，功耗 较大 ，代表集 成 电路 有 TTL 、ECL 、 HT L 、L