光外差探测系统.ppt

干涉测量基本原理：改变干涉仪中传输光的光程而引起对光的相位调制，从而表现为光强的调制。测量干涉条纹的变化即可得到被测参量的信息。 干涉条纹是由于干涉场上光程差相同的场点的轨迹形成。 可进行长度、角度、平面度、折射率、气体或液体含量、光学元件面形、光学系统像差、光学材料内部缺陷等几何量和物理量的测量。 * ppt课件 1） 激光干涉测长的基本原理 系统组成： (a)激光光源 (b)干涉系统 (c)光电显微镜 (d)干涉信号处理部分 位移 * ppt课件 2）激光干涉测长仪的光路设置 1.激光器 2.透镜 3.小孔光阑 4.透镜 5.反射镜 6.反射棱镜 7.位相板8.角锥反射棱镜9．分束镜10.角锥反射棱镜 11.透镜 12. 光阑 13.光电探测器 14. 透镜 15.光阑 16.光电探测器 * ppt课件 干涉光路的设置 * ppt课件 3）干涉信号的方向判别与计数 误差原因：外界干扰因素的影响，使测量镜在正向移动过程中产生一些偶然的反向移动。单纯计数，测量结果是正反移动的总和。 解决方法：判别计数。当测量镜正向移动时所产生的脉冲为加脉冲；反之为减脉冲 。 * ppt课件 判向计数： 正向移动： * ppt课件 ppt课件 第六章 光外差探测系统 光外差检测原理 光外差检测特性 影响光外差检测灵敏度的因素 光外差检测系统举例 * ppt课件 6.1 光外差探测原理 光波