工程光学第3章 位误差测量.pptVIP

概述 §3-2 平面度误差测量 §3-3 圆度误差测量 §3-1 直线度误差测量 §3-5 垂直度误差测量 §3-4 平行度误差测量 §3-6 同轴度误差测量 第三章 形状和位置误差测量 §3-7 误差分离法在行为误差测量中的应用 四、形位误差的评定 形位误差用最小包容区域评定。最小包容区域是包容实际被测要素且具有最小宽度或直径的区域。它与公差带形状、位置、方向相同。最小包容区域的宽度或直径是形位误差。 概 述 1．干涉法 对于小尺寸精密表面的直线度误差，可用光学平晶干涉法测量。把平晶置于被测表面上，在单色光的照射下，两者之间形成黑色等厚干涉条纹，若条纹的弯曲度为b，相邻两条纹的间距a值，则 f=b/a 乘以（二分之一波长） 对于较长的表面，当没有长平晶时，也可采用圆形平晶进行分段测量。 §3-1 直线度误差测量 §3-1 直线度误差测量 2．跨步仪法 §3-1 直线度误差测量 i 0 1 2 3 4 5 6 7 ai 0 0 +3 +2 -3 0 -4 +3 yi 0 0 +3 +8 +10 +12 +10 +11 用自准直仪所发出的光线为测量基线，测出被测直线相对于该理想直线的偏差量，再经数据处理求出被测线的直线度误差。适用于大、中型工件。 3．光轴法 测量实例 §3-1 直线度误差测量 (1). 沿被测直线方向将自准直仪固定好，将被测线两端点连线调整到与光轴测量基线大致平行； (2)．将反射镜置于靠近自准直仪一端，转动仪器读数鼓轮，使指示线位于亮十字光标中间，读取第一个示值△1。 (3)．依次移动反光镜，，从仪器上读取相应示值△i 。由起点顺测到终点，再由终点返测到起始点，将读数△i 记入表格。 （4）经数据处理求出直线度误差值。 测量实例 步骤： §3-1 直线度误差测量 直线度误差测量数据 有错误。看笔记本 §3-1 直线度误差测量 二、直线度误差的评定 有了整理后的测量数，画出误差折线图，即可按一定方法进行直线度误差的评定。评定方法有： 最小包容区法； 两端点连线法； 最小二乘法。 §3-1 直线度误差测量 最小包容区——包容实际要素，且具有最小宽度或直径的区域 。其形状与公差带相同。 给定平面内直线度的最小包容区的判别 高－低－高 低－高－低 至少三点相间接触 1、最小包容区法 §3-1 直线度误差测量 §3-1 直线度误差测量 在求直线度误差时，可在图上直接量出、解析计算或计算机处理。 (1)图解法处理:直接垂直于x轴量出误差值f。 本来两平行线之间的宽度应该是指它们间的垂直距离，但是x轴缩小，y轴则放大，折线是歪曲了的实际曲线，而只有坐标的数字不会改变。 (2) 采用解析计算 :应根据折线类型求出误差值f。 低－高－低 f x y d2 d1 g §3-1 直线度误差测量 §3-1 直线度误差测量 对于弯曲趋向不同的情形，计算公式稍有不同， 高－低－高 d g2 g1 2、两端点连线法 当画出误差折线图后，以首尾两点的联线作为评定直线度误差的基线，根据图中三种可能出现情形，求出相关点到首尾两点联线的纵坐标距离。然后，求得被测对象的直线度误差值f。 §3-1 直线度误差测量 d g n 两端点连线法计算公式： 若用水平仪测量，各点读数为 ， 则 §3-1 直线度误差测量 §3-2 平面度误差测量 2、干涉法 测量方法：将平晶表面与被测平面接触，调整平晶与被测表面间的相对位置，在单色平行光照射下，使之产生明显的干涉条纹，然后根据环形的干涉条纹数来评定平面度误差。当条纹不不是环形时，则根据条纹弯曲程度来评定平面度误差。 适用于精密小平面的平面度误差测量(如量具的测量平面) 。 §3-2 平面度误差测量 若是平整平面，当平晶与被测表面之间有一微小斜角时，则会出现光波干涉，得到一组等间距的直干涉条纹，平整平面与平晶表面紧密贴合，则无干涉条纹。 若有平面度误差，则会出现弯曲的干涉条纹。如果形成环形干涉条纹时，调整平晶与被测表面的相对位置使出现的干涉条纹条数N尽可能少。 §3-2 平面度误差测量 平面度误差的评定：环状条纹平面的平面度误差按f=n·λ/2计算，它与光波波长λ有关，当以白光照明时，λ=0.6mm，平面度误差为：