吉林大学半导体器件物理第三章-第一部分教材.ppt

第三章双极结型晶体管 第三章双极结型晶体管 发展历史 1947.12.23日第一只点接触晶体管诞生-Bell Lab.(Bardeen、Shockley、 Brattain)1949年提出PN结和双极结型晶体管理论-Bell Lab.(Shockley)1951年制造出第一只锗结型晶体管-Bell Lab.(Shockley) 1956年制造出第一只硅结型晶体管-美得洲仪器公司（TI） 1956年Bardeen、Shockley、Brattain获诺贝尔奖1956年中国制造出第一只锗结型晶体管-（吉林大学 高鼎三）1970年硅平面工艺成熟，双极结型晶体管大批量生产 3.1双极结型晶体管的结构 3.1双极结型晶体管的结构 3.1双极结型晶体管的结构 3.1双极结型晶体管的结构 芯片是通过以下步骤制造出来的 衬底制备 衬底为低阻N型硅，电阻率在 左右，沿（111）面切成厚约 的圆片，研磨抛光到表面光亮如镜。 外延 外延层为N型，按电参数要求确定其电阻率及厚度。 一次氧化 高温生长的氧化层用来阻挡硼、磷等杂质向硅中扩散，同时也起表面钝化作用。 光刻硼扩散窗口 3.1双极结型晶体管的结构 芯片是通过以下步骤制造出来的 硼扩散和二次氧化 硼扩散后在外延层上形成P型区，热生长的氧化层用来阻挡磷向硅中扩散，并起钝化作用。 光刻磷扩散窗口 磷扩散和三次氧化 磷扩散后在P型区磷杂质补偿硼而形成N+区，热氧化层用作金属与硅片间电绝缘介质。 光刻发射极和基极接触孔 蒸发铝 在铝上光刻出电极图形 3.2基本工作原理 3.2基本工作原理 双极晶体管有四种工作模式，相应地称为四个工作区。令， ， 分别为基极对发射极和基 极对集电极的电压。则四种工作模式是： 3.2基本工作原理 共基极连接晶体管的放大作用 3.2基本工作原理 共基极连接晶体管的放大作用 3.2基本工作原理 电流分量 3.2基本工作原理 电流分量 3.2基本工作原理 电流分量 3.2基本工作原理 电流增益 为描述晶体管的增益特性引进以下物理量 发射极注射效率 3.2基本工作原理 电流增益 显然 3.2基本工作原理 3.2基本工作原理 3.2基本工作原理 小结 概念：发射极注射效率、基区输运因子、共基极电流增益、共发射极电流增益 介绍了典型BJT的基本结构和工艺过程。 介绍了BJT的四种工作模式。 画出了BJT电流分量示意图，给出了各极电流及其相互关系公式〔公式（3-1）－（3-4） 分别用能带图和载流子输运的观点解释了BJT的放大作用。 BJT具有放大作用的关键在于两个PN结靠得足够近即基区宽度远远小于少子的扩散长度。 给出了理想BJT共基极连接集电极电流与集电压关系曲线和共发射极连接集电极电流与集电极－发射极间的电压关系曲线。 3.2基本工作原理 教学要求 掌握四个概念：发射效率、基区输运因子、共基极电流增益、共发射极电流增益 了解典型BJT的基本结构和工艺过程。 掌握BJT的四种工作模式。 画出BJT电流分量示意图，写出各极电流及其相互关系公式。 分别用能带图和载流子输运的观点解释BJT的放大作用。 为什么公式（3-9）可以写成公式（3-10）。 解释理想BJT共基极连接正向有源模式下集电极电流与集电压无关的现象。 解释理想BJT共发射极连接正向有源模式下集电极电流与集电极－发射极间的电压无关的现象。 解释理想BJT共基极连接和共发射极连接的输出特性曲线。 作业：3.1 3.3理想双极结型晶体管中的电流传输 3.3理想双极结型晶体管中的电流传输 3.3.1电流传输 理想晶体管的主要假设及其意义： （1）各区杂质都是均匀分布的，因此中性区不存在内建电场； （2）结是理想的平面结，载流子作一维运动； （3）横向尺寸远大于基区宽度，并且不考虑边缘效应，所以载流 子运动是一维的； （4）基区宽度远小于少子扩散长度； （5）中性区的电导率足够高，串联电阻可以忽略，偏压加在结空间电荷区上； （6）发射结面积和集电结面积相等； （7）小注入，等等 3.3理想双极结型晶体管中的电流传输 3.3.1电