微纳尺度传感器.ppt

微型加速度传感器 微型压电式加速度传感器 微型加速度传感器的应用 加速度传感器可应用在控制，手柄振动和摇晃，仪器仪表，汽车制动启动检测，地震检测，报警系统，玩具，结构物、环境监视，工程测振、地质勘探、铁路、桥梁、大坝的振动测试与分析；鼠标，高层建筑结构动态特性和安全保卫振动侦察上。 三、磁学量传感器 磁学量传感器所用最多的就是人们常说的霍尔式磁学量传感器 。 原理 霍尔式传感器的原理就是霍尔效应。金属或半导体薄片置于磁感应强度为B的磁场（磁场方向垂直与薄片）中，如图所示，当有电流I通过时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势U,这种物理现象成为霍尔效应。该电势U称霍尔电势。 霍尔传感器 霍尔传感器 应用 归纳起来，霍尔传感器有三个方面的用途： ①当控制电流不变时，使传感器处于非均匀磁场中，则传感器的霍尔电势正比于磁感应强度，利用这一关系可反映位置、角度或励磁电流的变化。 ②当控制电流与磁感应强度皆为变量时，传感器的输出与这两者乘积成正比。在这方面的应用有乘法器、功率计以及除法、倒数、开方等运算器，此外，也可用于混频、调制、解调等环节中，但由于霍尔元件变换频率低，温度影响较显著等缺点，在这方面的应用受到一定的限制，这有待于元件的材料、工艺等方面的改进或电路上的补偿措施。 ③若保持磁感应强度恒定不变，则利用霍尔电压与控制电流成正比的关系，可以组成回转器、隔离器和环行器等控制装置。 纳米传感器 气敏传感器 湿敏传感器 压敏传感器 气敏传感器 气敏传感器是一种检测特定气体的传感器。它主要包括半导体气敏传感器、接触燃烧式气敏传感器和电化学气敏传感器等，其中用的最多的是半导体气敏传感器。 气敏传感器 它将气体种类及其与浓度有关的信息转换成电信号，根据这些电信号的强弱就可以获得与待测气体在环境中的存在情况有关的信息，从而可以进行检测、监控、报警；还可以通过接口电路与计算机组成自动检测、控制和报警系统。 原理 声表面波器件之波速和频率会随外界环境的变化而发生漂移。气敏传感器就是利用这种性能在压电晶体表面涂覆一层选择性吸附某气体的气敏薄膜，当该气敏薄膜与待测气体相互作用（化学作用或生物作用，或者是物理吸附），使得气敏薄膜的膜层质量和导电率发生变化时，引起压电晶体的声表面波频率发生漂移；气体浓度不同，膜层质量和导电率变化程度亦不同，即引起声表面波频率的变化也不同。通过测量声表面波频率的变化就可以获得准确的反应气体浓度的变化值。 甲醛气敏传感器 酒精气敏传感器 应用 气敏传感器的应用主要有：一氧化碳气体的检测、瓦斯气体的检测、煤气的检测、氟利昂勠11、R12蓠检测、呼气中乙醇的检测、人体口腔口臭的检测等等。 湿度传感器 湿度传感器是指能感受气体中水蒸气含量，并转换成可用输出信号的传感器。 原理 湿度传感器的工作原理是由半导体纳米材料制成的陶瓷电阻是由湿度的变化关系决定的。纳米固体具有明显的湿敏特性。纳米固体具有巨大的表面和界面，对外界环境湿气十分敏感。环境湿度迅速引起其表面或界面离子价态和电子运输的变化 湿敏传感器 压敏传感器 在压敏传感器中研究和应用日渐活跃的是氧化锌系纳米传感器，由于其具有均匀的晶粒尺寸，它不但适用于低电压器件，而且更适用于高电压电力站，它能量吸收容量高，在大电流时非线性好，响应时间短，电学性能极好，且寿命长。 原理 纳米氧化锌压敏传感器高度的非线性电压－电流关系，主要由绝缘晶界层决定。 两个ZnO分解，形成填隙Zn原子，同时产生氧空位V0，如下式所示：ZnO→Zn+V0+1/2O2 Zn及V0经一次和二次电离，就形成以e－为载流子的N型半导体了。 总述 传感器在经济、科技和军事领域中已得到 广泛应用。现代信息产业的三大支柱是传感器 技术、通信技术和计算机技术, 它们分别构成 了信息系统的感官、神经和大脑。所以说传感 器是信息社会的重要技术基础, 是信息采集系 统的首要部件。 结束语 当前 ,MEMS技术正处于高速发展时期 , 微纳传感器也在随之蓬勃发展，21世纪会展现一个大发展的局面 ,它的广泛应用和效益将强有力地显示出来 ,它对信息、航空、航天、自动控制、医学、生物学、力学、热学、光学、近代物理和工程学等诸领域发展的影响将是深远的 ,人类的生产和生活方式也会因此而发生重大改变 谢谢 微纳尺度传感器 微纳尺度传感器的发展 微机电系统 随着微电子加工技术的不断发展, 其加工尺寸正从微米量级向纳米量级推进。微型机电系统就是随微电子技术发展起来的一个产物。所谓微型机电系统是指那些大小在毫米量级以下、构成元件尺寸在微米