第四章透射电镜.pptVIP

透射电镜 东华大学测试中心 内容 透射电子显微镜成象原理 透射电镜试样的制备 实例 透射电子显微镜成象原理 透射电子显微镜是以波长很短的电子束做照明源， 用电磁透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领，高放 大倍数的电子光学仪器。其主要特点是，测试的样 品要求厚度极薄（几十纳米），以便使电子束透过 样品。 以高能电子（50-200keV）穿透样品，根据样 品不同位置的电子透过强度不同或电子透过晶体样 品的衍射方向不同，经过后面的电磁透镜的放大 后，在荧光屏上显示出图象；透射电镜在加速电压 Ep=100keV下，电子的波长为3.7pm。 金相显微镜及扫描电镜均只能观察物质表面的微 观形貌，它无法获得物质内部的信息。而透射电 镜由于入射电子透射试样后，将与试样内部原子 发生相互作用，从而改变其能量及运动方向。显 然，不同结构有不同的相互作用。这样，就可以 根据透射电子图象所获得的信息来了解试样内部 的结构。由于试样结构和相互作用的复杂性，因 此所获得的图象也很复杂。它不象表面形貌那样 直观、易懂。 因此，如何对一张电子图象获得的信息作出正确 的解释和判断，不但很重要，也很困难。必须建 立一套相应的理论才能对透射电子象作出正确的 解释。如前所述电子束透过试样所得到的透射电 子束的强度及方向均发生了变化，由于试样各部 位的组织结构不同，因而透射到荧光屏上的各点 强度是不均匀的，这种强度的不均匀分布现象就 称为衬度，所获得的电子象称为透射电子衬度。 其形成的机制有两种：相位衬度，振幅衬度。 1.相位衬度 如果透射束与衍射束可以重新组合，从而保持它们的振幅和位相，则可直接得到产生衍射的 那些晶面的晶格象，或者一个个原子的晶体结构象。仅适于很薄的晶体试样(≈100?)。 2. 振幅衬度 振幅衬度是由于入射电子通过试样时，与试样内原子发生相互作用而发生振幅的变化，引起反差。振幅衬度主要有质厚衬度和衍射衬度两种：质厚衬度，衍射衬度。 ① 质厚衬度 由于试样的质量和厚度不同，各部分对入射电子发生相互作用，产生的吸收与散射程度不同，而使得透射电子束的强度分布不同，形成反差，称为质-厚衬度。 ② 衍射衬度 衍射衬度主要是由于晶体试样满足布拉格反射条件程度差异以及结构振幅不同而形成电子图象反差。它仅属于晶体结构物质，对于非晶体试样是不存在的。 概念 概念 概念 布施（Busch，德国物理学学家）理论：用轴对称的电场和磁场聚焦电子束的理论（1926年） 鲁斯卡（Ruska, 德国科学家）等人设计并制造了世界上第一台透射电子显微镜。 （1931-1933年） 概念 透射电子——对于薄试样（100nm左右）入射电子可透过试样。透射电子中有弹性散射电子和非弹性散射电子，透射电子的数量取决于入射电子所穿过的试样微区的厚度、成份、晶体结构及位向。 概念 衬度理论 弹性散射——入射电子与原子核作用时，只改变其运动方向，能量基本上无变化。 非弹性散射——入射电子与核外电子作用时，不仅改变其运动方向，能量也将变化。 概念 质量厚度衬度 对于非晶试样（实际包括弥散分布的多晶在内），设入射电子数为n0，透射电子数为n 概念 因强度与电子数成正比，故 I = I0e -Qt 设在tc样品厚度下，Qtc=1 则有 即透射电子与入射电子的强度比恒为一常数 在同样强度衰减的条件下，比较各种物质的散射能力有： 概念 可写为 即厚度与密度的乘积为材料的临界质量厚度，它表示了材料综合的散射能力。 质量厚度衬度理论表明了由于材料原子散射引起的透射电子强度的衰减即与试样厚度t有关同时也与原子序数和材料密度有关。 概念 衍射衬度：衍射衬度是用晶体的衍射电子束或透射电子束成像，像衬度源于电子衍射波（或透射波）振幅的变化，遵循劳埃（Laue）方程： 概念 所规定的衍射条件和几何关系，电子束被薄晶体试样衍射后，试样不同区域的衍射波振幅（及强度）分布对应于晶体各部分不同的衍射能力。当晶体中存在缺陷时，缺陷区域的衍射能力不同于完整区域，使各衍射波（从而使透射波）的振幅（及强度）分布不均匀，反映出晶体缺陷分布的情形。因而能显示晶粒、晶界、层错、位错、晶格中原子的排列等有用信息。 概念 相位衬度：当试样薄至10nm以下时，电子束穿过试样后，波振幅变化甚微，可以忽略不计，此时像的衬度源于电子波的相位变化。由于各衍射束之间相互干涉的效应，使得散射电子波与入射电子波产生相位差，形成相位衬度。此时图像被分解为许多不同波长的简单的正弦波的叠加，波长越短的波形对应着越细的细节，显微镜的像差和欠焦量的结合，起着对这个叠加波形的过滤作用。相位衬度的分辨率极高，可显示晶格、原子像。但