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                ITO玻璃异常 LCD的影响 基板中的钠离子发生渗透 字肥 基板的平整度较差 排骨彩虹(肋条彩虹) 基板的粗糙度较差 涂膜的均匀性;点状彩虹 面电阻不均 蚀刻易发生断短路 玻璃表面较脏 内污,短断路 ITO测射不均 上下短路 翘曲度差 LCD生产中定位不准 表面伤痕、异物、气泡 LCD显示效果异常 磨边倒角粗糙 制程中易破损 ■ ITO玻璃异常影响 生产流程 切  磨 大原片进料 NG 报告供应商处理 进料检验 切割 OK OK NG 调整切割尺寸 调整磨边倒角尺寸  磨边倒角 OK NG 过程检验 成品抽检 OK NG 报废 NG 入库 OK 工艺抽检 工艺抽检 抛  光 报废  领料 NG 表观检验 抛光 OK NG NG 入库 OK 成品抽检 平整度检验 OK 工艺抽检 镀  膜 卸片 OK 入库 OK NG 包装 OK NG 过程检验 OK 镀膜 清洗 复检 装篮 NG 报废 装架 装片 NG 上片检查 成品抽检 调整工艺 OK NG 品质检查 报废 领料 ■ ITO玻璃生产流程 线 制造商 日期 清洗 镀膜 清洗 镀膜 4# TEC (韩国) Leybold (德国) 2003 1996 5# TEC (韩国) Comtecs (韩国) 2001 2001 ■ 生产设备    -. 超声波清洗设备:2条线(4#、5#)     -. 溅射式镀膜设备:2条线( 4#、5#) ■ 清洗/镀膜流程 玻璃干燥 干燥槽 玻璃漂洗 洗涤槽 玻璃清洗 清洗剂槽 清洗程序 框架退火 退火 框架镀ITO膜 ITO 镀膜 框架镀SiO2膜 SiO2 镀膜 框架预热 预热 镀膜程序 ■ 镀膜二厂设备现状 ■清洗定义及目的     清洗工序在各种显示器件制作工程中是非常重要的部分之一。特别是玻璃基板镀膜之前的清洗质量与镀膜后的成品质量有着非常重要的相关性,所以在镀膜之前对玻璃基板要进行高清洁度的清洗。微粒的存在会引起ITO薄膜的断线;有机物的残留也会降低膜的粘贴度。微粒的大小是根据LCD的格栅宽度范围而变化,电阻越低的STN产品,需要对微粒的管理越严格 ■ 什么是清洗? ■ 清洗的目的?     清洗是指清除工件表面上液体和固体的污染物,使工件表面达到一定的洁净程度。清洗过程是清洗介质、污染物、工件表面三者之间的相互作用,是一种复杂的物理、化学作用的过程。清洗不仅与污染物的性质、种类、形态以及粘附的程度有关,与清洗介质的理化性质、清洗性能、工件的材质、表面状态有关,还与清洗的条件如温度、压力以及附加的超声振动、机械外力等因素有关。因此,选择科学合理的清洗工艺,必须进行工艺分析 ■清洗的10大种类 浸洗清洗: 在清洗槽中加入清洗液,将被洗物浸渍其中的清洗方式。由于仅靠清洗液的化学作用清洗,所以洗涤能力弱,需要时间长。循环清洗液。  喷气: 在清洗槽内安装喷气管(多个吸管),用汽体将清洗液喷射到被洗物上的清洗方式。 喷流清洗: 从槽的侧面将清洗液在液相中喷出,靠轻的搅拌力(物理作用)促进清洗。洗涤能力比浸渍清洗强。  刷洗: 在清洗腔室安装刷子,工件有专门的支承或夹具,在清洗剂浸渍或淋润的同时,主要靠刷子与工件的机械磨擦力进行清洗,作为初级清洗效果直接。  超声波清洗: 在清洗槽内安装超声波振子,产生超声波能量(数千个大气压的冲击波),将被洗物全部清洗的方式。  喷淋清洗: 在清洗槽内安装喷淋管,在气相中将清洗液喷射到被清洗物上,压力不足2㎏/c㎡  减压清洗: 在清洗槽内产生负压,由于减压,洗涤剂能较好地渗透到被洗物的缝隙之间。若和超声波作用,清洗效果会大大增强。  喷雾清洗: 安装喷雾管,在气相中将洗涤喷附到被清洗物上的清洗方式。压力2-20㎏/c㎡  旋转筒清洗: 在槽内安装旋转装置,同时旋转筒体搅拌被清洗物。多与喷流、超声波洗涤组合使用。  抛动清洗: 在槽内安装抛动机构,装入被洗物,使之在洗涤槽内上下运动,多与喷流、超声波洗涤组合使用。  ■术语定义-1 ? R/O 水     -.指利用逆渗透法的膜分离方法制造的水。     -.用于一次清洗,使用量最多。     ? 逆渗透法:指利用半透膜和静水压从盐溶液里分离出像水一样的溶剂。溶剂的流向是          向着浓度高的方向流动,所以溶剂通过半透膜向盐溶液移动,当系统达到平行时的静          水压叫做渗透压。  ? DI 水      -. 去离子水,除去离子成分的用水。      -. 清洗工序的必须用水,对于去除异物的附着、玻璃的腐蚀、洗剂成分的活性剂起着很          好的溶解作用。  ? UDI 水      -. 超纯水,比DI水更高等级的超纯水。 ?  超声波   - 超出听觉范围的频率,约16?~20?,因为发生共振而引起清洗的要素。  ?  超声波声
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