空气洁净技术第一章 绪论.ppt

洁净室与洁净技术的概念 洁净区 空气中微粒的数量控制在规定的洁净度等级范围内的特定区域。 洁净室 根据需要对空气的传播粒子和其他因素进行控制（例如气流速度和方向、温度、湿度、压力、分子污染等）的一个密闭区域。 空气洁净技术 洁净室污染控制技术及为创造污染程度受控的工作环境所采取的所有方法，包括预防性措施。 空气洁净度等级 空气洁净度等级 空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度，通常空气中含尘浓度高则空气中洁净度低，含尘浓度低则空气洁净程度高。 国际标准ISO14644-1洁净度等级共分9级，ISO Class 1~9级 国际标准ISO14644-1洁净度等级计算： Cn：被考虑粒径的空气悬浮粒子最大允许浓度（pc/m3）。Cn是以四舍五入至相近的整数，通常有效位数不超过三位数；N：分级序数，数字不超过9，分级序数整数之间的中间数可以作规定，N的最小允许增量为0.1；D ：被考虑的粒径（μm）； 0.1 ：常数，其量纲为（μm）。 算 例 N=5级（100级），按D=0.5 μm考虑，计算的Cn=3516个/m3 N=5级（100级），按D=1μm考虑，计算的Cn=832个/m3 常用单位 微米：长度单位，等于10-6米，常用μm表示。 埃(?)：长度单位， 1埃=10-10米，10000埃=1微米。 纳米：长度单位，符号为nm，原称毫微米，等于10-9米，10-6毫米。 微粒污染物：大小在0.01-100μm之间的实心微粒。 常用术语见附录A 洁净室的三种状态 按照洁净室（区）的空气洁净度级别状态所达到空气洁净度级别处于的状态分三种： 空态（as-built）：是指设施已经建成，其服务动力共用设施区接通并运行,但无生产设备、材料及人员的状态。 静态(as-rest)：是指设施已经建成，生产设备已经安装好，并按供需双方商定的状态运行，但无生产人员的状态。 动态(operational)：是指设施以规定的方式运行，并在商定的状况下进行工作。 空气洁净技术的发展历史 空气洁净技术的由来 20世纪20年代，美国航空业的陀螺仪制造过程中最先提出了生产环境的洁净要求，为消除空气中的尘埃粒子对航空仪器的齿轮、轴承的污染，建立了“控制装配区”。 美国一家导弹公司发现，在普通车间内装配惯性制导用陀螺仪时平均每生产10个产品就要返工120次，当在控制空气中的尘粒污染的环境中装配后，返工率可降低至2次；在无尘与将空气有尘粒达1000pc/m3（平均直径为3μm）的环境中装配转速为12000r/min的陀螺仪轴承进行对比，产品使用寿命竟相差100倍。 空气洁净技术的发展历史 空气洁净技术的由来 20世纪50年代初，高效空气粒子过滤器HEPA在美国问世。美国在军事工业和人造卫星制造领域建立了一些洁净室；日本从20世纪50年代开始在半导体制造工厂中应用空气洁净技术；前苏联也在同时期编制了所谓“密闭厂房”典型设计。 20世纪60年代初，利用工业洁净室进行那些要求无菌环境的实验。 从20世纪70年代初，诞生了现代的生物洁净室，如在制药工业、化妆品工业、食品工业和医疗部门的手术室、特殊病室以及生物安全等方面的推广应用 。 空气洁净技术的发展历史 空气洁净技术的发展 集成电路的线宽已从几微米发展到现今的0.1μm左右。集成电路的微型化对空气中受控粒子粒径从0.3~0.5μm的要求发展到空气中受控粒子的粒子尺寸要求控制在0.05μm甚至更小，产品的微型化正不断对空气洁净技术提出更严格的要求。 20世纪60年代，空气洁净技术在美国、欧洲等国家产品生产和科学实验活动的需要得到了广泛应用。 20世纪60年代后期，在工业洁净室的基础上发展了生物洁净室。 20世纪80年代，电子厂房洁净开始大发展。 主要的洁净室标准年表 公布时间 各 国 标 准 1961.3 美国空军技术条令 TO.00-25-203 1963.12 美国联邦标准 1984 中国标准《洁净厂房设计规范》GBJ 73—84 1987.10 美国联邦标准 FS-209C 1988 日本空气洁净协会标准 1992.11 美国联邦标准 FS-209E 1996 俄罗斯标准 GOSTR 50766—95 1999.5 国际标准 ISO 14644—1 主要的洁净室标准年表 公布时间 各 国 标 准 2008 中国标准GB50472-2008《电子工业洁净厂房设计规范》 2010 中国标准GB/T 16292——2010《医药工业洁净室(区)悬浮粒子的测试方法》 2010 中国标准GB/T 16293——2010《医药工业洁净室(区)浮游菌的测试方法》 2010 中国标准GB/T 16