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* * 薄膜和薄膜技术应用 我们的现代生活： 太阳能 光学膜 电视 电脑 液晶显示器，集成电路（IC） 手机 汽车 燃料电池，加速度传感器 薄膜技术 塑料薄膜（吹塑；厚度数十微米） 薄膜：薄（微米级或纳米级）；无缝隙覆盖 薄膜技术 薄膜的一般概念 薄膜是一种薄而软的透明薄片。 薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片 表面形成的2维材料。 薄膜是一种薄而软的透明薄片。 聚氯乙烯或聚乙烯 塑料薄膜的厚度 为几微米到几百微米 王双军/陈先明：水立方ETFE充气膜结构技术 16开282页 ETFE：特氟龙（聚氟乙烯），分子式C2F4 特点：轻，高抗污，易清洗，通常雨水即可清除主要污垢。 具有有效的热学性能和透光性，可以调节室内环境，冬季保温、夏季散热。 水立方的蓝色外衣是由3000多个气枕构成的。 基于“泡沫”理论的设计灵感，为“方盒子”包裹上了一层建筑外皮，上面布满了酷似水分子结构的几何形状，表面覆盖的ETFE膜又赋予了建筑冰晶状的外貌，使其具有独特的视觉效果和感受，轮廓和外观变得柔和，水的神韵在建筑中得到了完美的体现。 薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片 表面形成的2维材料。 薄膜的最早应用是在光学元件表面制备保护膜（化学镀膜）。 1817年，Fraunhofe在德国用浓硫酸或硝酸侵蚀玻璃，偶然获得了减反射膜。 玻璃的减反射与眼镜： 镜片前表面产生的反射光会使别人看戴镜者眼睛时，看到的却是镜片表面一片白光。 薄膜是由原子，分子或离子沉积在基片 表面形成的2维材料 与 真 空 基片 原子、分子或离子 空气中的原子或分子 1930年出现了油扩散泵---机械泵抽气系统。 真空蒸镀← 溅射← 离子镀 化学气相沉积 镀料气化源 大约于1858年，英国和德国的研究者先后于实验室中发现了溅射现象。直到1955年，溅射镀膜才得以迅速发展。 真空蒸镀 溅射 离子镀 化学气相沉积 薄膜技术 电视机前面玻璃 照相机透镜 眼镜镜片 展示窗 （MgF2） 光学膜 减反射 人造卫星用太阳能电池的玻璃罩 选择吸收 长波长的红外线 可见光 夏天的冷房 TiN、CrN或 TiO2/TiN/TiO2 冬天的暖房 ZnO/Ag/ZnO 可见光 长波长的红外线 太阳能发电 吸收面的温度可达800℃ 电镀的Cr2O3 反应溅射ZrOx 真空蒸镀SiO/Al/SiO 选择吸收面 （光热变换膜） 太阳能热水器 太阳能电池（光电变换膜） 波长小于380nm的紫外线容易造成汽车内的装饰材料、展示窗内的商品或展示品的劣化。 ZnO薄膜 长波长的红外线 可见光 装饰膜 镀金 保时捷汽车 木雕 装饰膜 镀银 镀银篮子 装饰膜 镀铬 宝马汽车 超硬耐磨镀膜 汽配模具氮化钛 （TiN） 镀TiN剪刀片 镀TiN钻头 镀TiAlN刀具 镀CrN钻头 生物传感器的原理图 热释电型红外线传感器 某些物质（Pb1-xZrxTi1-x/4O3(PZT)或PbTiO3·Pb1-xLaxTi1-x/4O3(PLT)）表面随温度的变化产生电荷（热释电效应），当这种物质接收红外线时，红外线的能量转变为热能，这种热能可以电荷（输出电压）的方式检出。 可用于非接触式温度计：流动人群体温测量；检测人及动物的位置、动作及活动等；空间场地温度分布。 *