第五章2009冷阴极电离真空计.pptVIP

Vacuum measurement and leak detection真空测量与检漏之 Cold-cathode ionization vacuum gauges冷阴极电离真空计 第五章 冷阴极电离真空计Cold-cathode ionization vacuum gauges 热阴极电离真空计存在高温阴极，在高温下不能工作甚至被烧毁且存在规管放气、化学清除等现象，限制了它的应用范围。特别是在工艺放气量大和易于暴露大气的真空设备上不太适用。 冷阴极电离真空计是利用低压气体在强电场和磁场下的冷阴极放电作用将气体分子电离的原理工作的，俗称冷规。它与热阴极电离真空计相同，也是由规管与测量线路两部分所组成。这种真空计规管中的电子是在平行电磁场或正交电磁场作用下维持放电而进行工作的，因此被称为冷阴极放电式真空计或磁放电真空计。 第五章 冷阴极电离真空计Cold-cathode ionization vacuum gauges 冷规主要有两大类型，即电场与磁场方向相互平行的普通型冷阴极电离真空计和电场与磁场方向相互垂直的磁控管式冷阴极电离真空计，而后者又分为倒置磁控管式和正置磁控管式两种型式。 第五章 冷阴极电离真空计Cold-cathode ionization vacuum gauges 普通