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南太电子有限公司 静电知识手册 静电知识手册 准备：莫小艾 审核：毛祖伦 批准：万红瑛 南太电子IE部 内容概要 静电学基础和静电损害 静电性能测量与静电放电敏感度试验 静电防护设计 静电放电控制 静电学基础与静电损害 静电学术语 静电概述 静电来源及原理 静电放电失效的特点\机理\类型等 术语 ESD：Electronic Static Discharge，原意是指静电放电，即通过带静电区域直接接触或感应而引起的静电电荷在不同电势物体上的转移。后常指静电放电防护，即避免静电放电损伤的发生。 ESDS：Electronic Static Discharge Sensitive，指静电敏感（的），一般用来指静电敏感器件。 静电敏感度：Electrostatic Sensitivity，元器件所能承受的静电放电电压值。 衰减时间：一个静电压从其初始值降低到一个给定值（通常是初始值的10%）所需要的时间。 表面电阻/点对点电阻：在与材料的统一侧面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示 体积电阻/对地电阻/系统电阻：在与材料的相对两面相接触的两个规定形状的电极之间，直流电压对于流过的电流的比值。该测量结果以欧姆为单位来表示。 静电概述 在自然条件下，原子的正负电荷是相等的，物质处于电平衡的中性状态，即不带电。在静电学中称不带电的物体为电的中性体。 在某种条件下，当物质原子中的这种电平衡状态被打破，丢失或获得电子，物质即由中性改变为带电状态。处于带电状态的物体在静电学术语中称为带电体。 物质呈现带电的现象，称为带电现象。物质的带电现象是一种自然现象。按照物质所带电荷的存在与变化状态可分为动电(流电)现象和静电现象。显然，在静电情况下由于电荷静止不动或其运动非常缓慢，故它所引起的磁场效应较之电场效应来说可以忽略不计。 静电现象 静电现象广泛存在于自然界、工业生产和人们的日常生活中。地球本身就是一个导体，它大概存储了9.02E5库伦的负电荷量。因此，可以毫不夸张地说人类生活在静电的海洋之中。 静电的来源(固体) 静电的来源主要有以下几个: 接触起电 分离起电 摩擦起电 感应起电 断裂起电 压电起电 热电起电 介质极化起电 摩擦起电的原理 摩擦起电的原理：一般是由物体接触分离所形成，得到电子的带负电，失去电子的带正电。静电由于摩擦的程度或表面的均匀度、接触压力、摩擦力、分离速度等不同而电荷量不同。 静电发生序列 (MIL-HDBK-263A) 人手 兔毛 玻璃 云母 人发 尼龙 羊毛 铅 丝绸 感应起电原理 将一个不带电的物体置于一个带电体的附近，由于静电场电力线的存在，前者将受到后者静电场力的作用，使靠近带电体的一端产生与带电体异性的电荷，这种现象称为静电感应起电。 电子元器件静电放电失效概述 MOS工艺是集成电路制造的主导技术, 以金属－氧化物－半导体场效应管为基本构造元件。由于MOS器件中场效应管的栅、源极之间是一层亚微米级(0.07微米~0.15微米）的绝缘栅氧化层，根据理论计算的二氧化硅的击穿电压为：1E9*0.07E-6=70V, 如果再将工艺误差，材料不均匀性等考虑进去，其耐压值将更低，极易受到静电的损害。据统计，电子工业中,大约有相当一部分的元器件失效是由于静电放电引起的。见右表: 静电放电失效的特点 隐蔽性，静电能量很小人们无法直接察觉，往往发生了静电损害后仍然不知。 潜在性，相当多的电子元器件受静电放电损伤后，仅仅表现出某些性能参数下降或基本不变，往往无法检测出来，当使用一段时间后，器件才失效， 往往导致严重的损失。 随机性，由于静电可以在任何两种物体接触分离的条件下产生，且与环境的温湿度，器件的耐受度有关，在生产制造到使用的任意环节/步骤都有可能发生，具有很大的随机性。 失效分析的复杂性，因为电子产品的精细化的结构特点，往往需要高达千倍的光学显微镜甚至是万倍电子显微镜，昂贵且复杂。（最新一代的TMR硬盘磁头里面的Sensor只有大约1纳米厚，发生ESD后，只有通过放大倍率为数十万倍的TEM才有可能看到，一张图片的价格就超过万元。）同时，有些静电损伤现象也难以与其他原因造成的损伤加以区别。使人误把静电损伤失效当作其他失效。 静电损伤与别的损伤的比较 静电放电失效类型 突发性完全失效，这种类型指由于静电放电造成电子元器件自身短路，开路，功能丧失或参数不合格等，因而立即失去其工作能力。除静电放电造成的失效外，静电场力的破坏作用也是导致电子产品静电失效的原因之一。据有关统计资料表明，在受静电损伤的电子元器件中，突发性完全失效约占失效总数的10%。 潜在性缓慢失效，这种类型指带电体所带静电位或