低压扩散应用于晶硅太阳电池的可行性工作总结报告.pdf

低压扩散应用于晶硅太阳电池的可行性工作总结报告 一、立项背景 面对日益短缺的能源与不断恶化的自然环境，人们将目光投向那些绿色环保、 可再生的新能源的身上，如太阳能、风能、生物能、地热能、潮汐能等等。作为可 再生清洁能源的典型代表，光伏发电以其无污染、可再生、储量丰富等优点引起了 世界各国的高度重视，而据国际能源署 (IEA) 和欧盟联合研究中心 (JRC)的预测，到 2040 年世界太阳能光伏发电量将占世界电力总供应的 20%以上。根据预测如图 1 所示，太阳能在未来能源结构当中所占的比例越来越大， 在本世纪末太阳能将可能 会成为主要的能源供给来源，所占比例可能会超过 60%。 图 1.世界能源使用现状及未来能源需求结构预测图 在各种太阳能电池中，硅太阳能电池因其可靠性高、寿命长、能承受各种环境 变化等优点成为太阳能电池的主要品种。 太阳电池产业化所面临的主要问题之一是 如何在保证电池高转换效率前提下提高产能。 扩散制作 P-N 结是晶体硅太阳电池的 核心，也是电池质量好坏的关键之一。对于扩散工序，最大的问题是如何提高扩散 的均匀性。扩散的均匀性直接体现在硅片扩散后 PN 结结深的差异性上，均匀性好 则结深的差异性小，反之亦然。而不同的结深对应的烧结温度也是不一样的。换个 角度来说，同样的烧结条件对于扩散均匀性好的电池片，其欧姆接触就会好，短路 电流、填充因子等电性能参数也会比较稳定。 这样，电池片的转换效率也就更稳定。 并且， 电池片与电池片之间的电性能参数一致性好， 也有利于组件的稳定性和防衰 1 减性，从而提高了太阳电池的使用寿命。因此，如何来提高扩散的均匀性就显得非 常有必要。为了克服现有技术的缺点，改善扩散后硅片的均匀性，提高晶硅太阳能 电池的光电转换效率，我们提出将低压扩散技术引入晶硅太阳能电池中。 二、项目执行情况 1、成立项目工作小组 为确保本项目的顺利实施，公司已经形成了有来自浙江大学 、湖南科技大学 、 中国科学院等著名高等院校 10 多名硕士组成的技术研发团队，共同致力于公司技 术研发工作，公司以内部研发中心为依托，成立项目工作小 组 ， 该 小 组 下 设 设 备 优 化 研 究 小 组 、工 艺 研 发 小 组 和 试 验 生 产 小 组 ，对 研 发 工 作 进 行 了 细 化 分 解 。 各小组分工明确，责任到人，从组织上保证了项目的正常运行。各小组 细化工作如下： 项目工作小 组 设备优化小 组 工艺研发小 组 试验生产小 组 设备改造 工艺研发和试验 试生产和品质管控 2、项目进展报告 （1）2016.3 – 2016.5 立足公司现有的扩散设备， 针对常规扩散设备按低压扩散炉核心结构进行改造。 低压扩散炉的核心结构如图 2 所示。 图 2.低压扩散核心结构示意图 2 从进气管 1 进入工艺气体，在腔室 2 中进行低压扩散，尾气从尾气管 3 排出， 泵 7、8、9 负责创造真空条件，泵出口连接排酸管道。 为保证改造后炉体满足低压真空条件， 除炉体做密封改良处理外， 炉门更换为 专门针对低压扩散的高密封性自冷炉门如图