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第3章 压力检测 压力的概念及单位 应变式压力计 压电式压力传感器 电容式压力传感器 霍尔式压力计 数字式压力计 第3章 压力检测 工程领域所谓压力即物理学中的压强。是很多生产过程重要的工艺参数之一，是很多生产过程自动化（过程控制）常见的测控对象之一。 本章简要介绍压力的概念及单位，重点讲解应变式压力计、压电式压力传感器、电容式压力传感器、霍尔式压力计等的结构、原理及应用。 3.1 压力的概念及单位 一、压力的概念:压力是垂直而均匀地作用在单位面积上的力。大小由受力面积的大小和垂直作用力的大小决定。表达式为： 二、压力的单位 SI单位：帕斯卡（Pa）。 工程领域常用单位：① 工程大气压（at）；② 标准大气压（atm）；③ 约定毫米汞柱（mmHg）；④约定毫米水柱（mmH2O）。 常用单位与帕斯卡的换算关系（[2]p.189）。 3.1 压力的概念及单位 三、压力的分类 ① 绝对压力 ② 大气压力 ③ 表压力 ④差压 ⑤真空度 上述各种压力的相互关系 3.2 应变式压力计 3.2.1 金属应变片 金属应变片的工作原理是基于金属的应变效应。 金属丝的电阻值随外力作用发生机械形变（拉伸或压缩）而相应改变，称为金属材料的电阻应变效应。 一段长度为L，截面积为S，电阻率为ρ的金属丝，受力前后的电阻值的变化： 3.2 应变式压力计 （轴向）应变 径向应变 3.2 应变式压力计 金属应变片分为丝式应变片、箔式应变片和薄膜应变片三类，结构与特点见[1]p.34-35。 常用的应变丝的材料是康铜丝和镍铬合金丝。 丝式应变片和箔式应变片的结构如图示。 用薄纸作为基底的应变片称为纸基应变片；用有机聚合物作为基底的应变片称为胶基应变片。 3.2 应变式压力计 金属应变片的结构： 1-敏感栅 2-基底（厚0.02~0.04mm） 3-引线 4-金属膜引线 3.2 应变式压力计 3.2.2 半导体应变片（压阻式传感器） 半导体应变片（压阻式传感器）的工作原理是基于半导体的压阻效应。单晶半导体材料在沿某一轴向受外力作用时，电阻率发生显著变化，称为半导体的压阻效应。半导体应变片电阻的变化主要是电阻率变化引起的，即 又 ，故 3.2 应变式压力计 与金属应变片相比，半导体应变片的主要优点是灵敏度高（1~2个量级）；主要缺点是温度误差大，必须有补偿措施。 “温度误差及其补偿”见后。 3.2 应变式压力计 3.2 应变式压力计 3.2.3 应变片的粘贴及温度补偿 一、应变片的粘贴 粘贴工艺包括被测试件表面处理、贴片、质量检查、焊接引线、防护与屏蔽等。（参考传感器技术手册） 二、温度误差及其补偿 1.温度误差 温度误差是指环境温度变化引起应变片电阻变化。原因有两方面：一方面是应变片电阻丝的温度系数，另一方面是电阻丝材料与试件材料的线膨胀系数不同。 3.2 应变式压力计 2. 温度补偿 电桥补偿法如图。①一工作片,一补偿片；②两个均为工作片(条件?优点?) 。 3.2 应变式压力计 3.2.4 测量电路 1. 直流电桥 3.2 应变式压力计 2. 交流电桥 交流电桥输出： 交流电桥平衡条件： 半桥差动应变交流电桥桥臂阻抗： 取 整理可得 即平衡条件： 3.2 应变式压力计 直流电桥的调零用电位器即可。 直流电桥的供电和调零都较简单。但是，输出信号需要放大时，用直接耦合放大器（很多被测量是静态的或缓变的），有漂移问题。 为解决漂移等问题，常用交流电桥。但是，供电（稳频和稳幅）和调零（电位器和电容）都较复杂；输出为调幅信号。通常需要检波电路。常用相敏检波电路（已集成化）。 近年来，由于低漂移集成运放的发展，直流电桥得到了广泛应用。 在测控实践中，为了能将传感器输出信号（一般很微弱）从各种噪声中分离出来，将传感器输出信号调制（赋以一定特征），是一种常见做法。很多情形中，调制是通过传感器测量电路实现的（如交流电桥）。 3.2 应变式压力计 圆柱式力传感器（荷重传感器） 3.2 应变式压力计 3.2 应变式压力计 扭矩传感器 应变片应用实例 3.4 压电式压力传感器 3.4.1 压电效应 某些物质在某方向受压力或拉力作用产生形变时，表面会产生电荷。外力撤消后，又回到不带电状态。这种现象称为（正）压电效应。具有压电效应的物质称为压电材料，如天然的石英晶体，人造的压电陶瓷等。 逆压电效应（电致伸缩效应）？ 一、石英晶