PECVDCT设备常见故障手册.docVIP

基本内容： 1PECVD设备常见故障和报警信息描述，及相应解决方法介绍 2PECVD工艺问题描述及相应的处理方法介绍 3紧急情况处理措施及设备维护的相关注意事项 基本要求： 1要求能够处理设备常见的基本故障 2对于不能处理的设备问题，要求能够识别问题的大体原因所在，并能够在第一次时间判断 通知车间设备工程师还是外围设备工程师 3熟悉M125-XXL工艺的基本步骤，能够处理常见的镀膜不良的问题 4面对紧急情况时，能够合理及时的处理；设备维护时，能够按照规程合理的进行操作 注：以下内容如没有进行特别标注均指Centrotherm PECVD 《PECVD常见设备故障及解决方法》 手推车(trolley)加载故障 1手推车无法被加载 ?检查一下store2和store3位置是否有同时存放石墨舟的情况，如果是则将其中一个手动 取下 ?检查一下车上水平方向的感应器上是否有脏污和磨损，如有则用氮气枪进行清理，此时禁止用无尘布之类的东西对反射镜进行擦拭 ?检查水平和垂直方向感应器指示灯是否正常，然后通知当班工程师 2自动模式下石墨舟无法从设备内拾取到store1 检查舟感应器的光线是否照射在了手推车上，正常的在没有石墨舟的情况下，舟感应器的指示灯为开启状态，如果是则将首推车的位置重新调整，使舟感应器指示灯恢复开启状态 3手动模式下store1位置没有Downward 同2，检查舟感应器是否正常 CMI死机 打开CMI界面下的护板，将CMI开关关闭然后开开进行重启 机械臂(Lift)故障 1在CMI操作完成的情况下，如果出现机械臂无法加载的情况，先检查一下信号灯显示 否为指示自动模式的绿色，如果不是，则选定自动模式，不能选定的情况 下，再检查一下CMI上方的“AUTO/Handling”开关是否为ＡＵＴＯ位进行选定 　2在确保自动模式的前提下，如果机械臂仍不能动作，则等待半分钟，如果还不能 　　 在确保浆和炉门没有或没有即将出现运动的前提下，按下CMI上方的“STOP”，如果机械臂依旧不能运动，则通知当班工程师 浆无法进入移出炉管(EFM error) 1手动复位 “Mannual ” →”Service” →”EFM” →”Recovery” →”Handling” 2检查一下炉门口是否有异物，如果有则用高温手套将异物取出。检查一下actpos=是否到位 3检查一下进浆传送带是否有堵塞 4对于捷佳伟创PE，检查一下前后限位开关是否OK，检查一下报警信息栏内是否有 堵塞报警 5对于无法出舟的情况，要观察一下CMI上是否有SLS= undefined 的情况 注：对进行过Cesar 初始化操作的情况，要手动将“Mannual”?“Boat”?“Speed”的值重新进行设置，不然也会出行无法进行手动进舟的操作，一线值为350二线为400 高频报警（HF generator out of 1st or 2st tolerance） 高频报警（HF generator out of 1st or 2st tolerance） 1 检查报警信息中，是否有NH3或者SiH4 out of 1st 2st tolerance .如有则首先检查是否有三个炉管同时进行沉积工艺depositon ，如果是则进行等待，直到其他管内的一舟工艺结束沉积(depositon)步 2 如果在没有三个炉管同时工艺的情况下出现特气报警，则检查一下特气压力表上的压力是否在1-2bar间，如果不是则在第一时间通知外围设备工程师 3 如果不是如上原因，则检查一下CMI上是否同时有压缩空气报警(Alarm Compress air supply).同时检查一下CDA表上显示是否低于6bar.如果是则在第一时间通知外围设备 工程师 4 对于初步判断为掉片造成的高频报警，则检查一下已进行的工艺时间，看是否需要进 行补镀工艺，出现工艺没有自动结束的情况，则在2分钟后在CMI主菜中选定“ExitPoc →然后选择“YES”手动结束工艺，此时会提示process terminated 报警信息，点击红 色报警灯，在弹出的界面里选择第一项“to Store”.对于掉片则将硅片 重新插好进行工艺 5 对于相应炉管依旧出现高频报警的情况，则手动打开炉门检查一下炉管内是否碎片太多，是否有翘起的碎片，如有则进行清理 手动结束高频报警的基本操作： ?设定炉管内气压