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ZYGO 干涉仪使用指导书 1.0 目的 制定本文件是为了详细说明如何使用ZYGO 干涉仪测量平面、球面、柱面元件的曲率半径、面形、以及透过波 前，并提高检验过程的准确性和可重复性。 2.0 范围 本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面、球面、柱面元件的一般方法。 3.0 记录 3.0 在检验过程中将会生成以下记录： • 干涉图 4.0 相关文件 4.1 与本文件相关的文件有： • 待测零件图纸 5.0 定义 5.1 应用（application ）--应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。不同的应用 用于不同项目的测量。比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的 测量。 5.2 猫眼像（cateye ）又称为标准镜的像。标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光 线与和它对称的标准面之间的干涉图形。 5.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图 形。包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。 5.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。 5.5 Align 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到一个黑色固定的十字线和反射回 干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。 5.6 View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高， 但是视场较小。一般在align 界面对准后在view 界面观察条纹。 5.7 标准镜干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。 5.8 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大 小可能有很大的差异。设定长度基准的目的就是告诉干涉仪图形中的一段长度相当于镜片中长度的多少，方便 控制测量区域和设定掩膜。 5.9 掩膜（mask ）表明干涉图中有效区域的工具。可以根据需要设定有效区域的形状、大小、位置， 也可以从有效区域中挖去一部分不需要的。 6.0 职责 6.1 品管部经理负责保证过程实施所需的培训及资源 6.2 指定的焦距仪使用者需保证该过程按程序文件要求实施 7.0 工具、计量器具、测量设备 7.1 主要设备和工具包括： ZYGO 干涉仪，导轨，三爪卡盘，六维调整架，平面标准镜TF，各种规格的球面标准镜TS，柱面标准镜 ZYGO 干涉仪使用指导书 Page 2 of 9 ZYGO 干涉仪使用指导书 CGH，标准平面反射镜，升降台 7.2 认识ZYGO 干涉仪 ZYGO 干涉仪由主机，测长装置导轨，电脑，控制盒四个主要部分组成。其中主机又分为主机箱，移相头和标 准镜支架三部分。测长装置是多普勒双频激光测距仪，其中角锥（反射器）安装在导轨上的六维调整架上可以 随着调整架上的镜片同步移动。 7.3 认识软件界面 干涉仪软件MetroPro 界面左边是各种功能按钮，有些的作用是实现某种操作，有些的点开是一个窗口，右边 是各种图形、数据、信息窗口。 8.0 安全要求 • 测量过程中，注意对透镜的防护，尤其是表面和边角容易损坏的部位。 • 标准镜使用时要插入到位，螺丝拧紧。不用时要摆放到盒子中避免意外损坏。 ZYGO 干涉仪使用指导书 Page 3 of 9 ZYGO 干涉仪使用指导书 9.0 操作流程 使用干涉仪测量面形主要包括以下步骤：开机，选择、安装标准镜，找到待测零件表面干涉条纹，输入零件号 等相关信息，设定长度基准，取掩膜，测量，结果保存和打印。不同的零件在找干涉条纹和一些设定方面有所区 别，但是基本步骤差不多。 9.1启动软件 打开干涉仪主机上的开关以及光栅尺显示屏背后的