CMOS兼容的微机械PN多晶硅热电堆红外探测器.docxVIP

2012文錄号 1 脯# 耕铀歸#删曲2012-07-19##### 胡 #2-07-19######## CMOS兼容的微机械P/N多晶硅热电堆红外探测器 刘义冬李铁|，王翊|汪跃林| (1?中国科学院上海微系统与信息技术硏究所传感技术联合国家重点实验室,上海200050; 2中国科学院硏究生院，北京100049) 摘要:提出一种采用正面开口进行湿法腐蚀释放热电堆的结构，通过利用高精度光刻、LPCVD ( bw -pressure chemical vapor deposition)薄膜生长、BE ( bn beam etching)干法刻蚀、1MAH ((CH)NOH)腐蚀等微棚戒加工技术,设计并制作了 CMOS兼容的微机械多晶硅热电堆红外探测 器。实验得到的器件成品率达到90%以上，响应率为12 5V/W探测率1 xIO’cmH^/W,为进一 步大规模红外面阵研究奠定了基础。 矢键词：红外:热电堆;微电子机械系统 中图分类号 :TP732 2 文献标识码:A CMOS com pa tbleM EVI S P/N polycrystaline silicon therm opile IR detector LU Yillong1, \ LT Tie, WANG Yi, WANG Yue2Iin (1. State Key Laboratories of Transducer