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真空知识及漏率及检漏培训(CSG) 真空：什么是真空？ ?真空 - 从字面上解释, 就是把一定空间内的空气全部抽空，然而，至今为止，没有人能成功地做到这一点。根据科学试验得出结论，最高真空也就在 10-14 torr 范围内。 这个结论是由美国纽约的一家名叫 IBM Thomas J. Watson 的研究中心，于 1976 年 10 月，在一个温度降至华氏负269度的系统中得出的。甚至在如此低的压力环境下，每平方厘米仍然存在成千上万的分子，同时，也测量出空气的存在。因此，真空的定义是指低于大气压的稀簿气体状态，通常用760 mmHg 或 1013 mbar 表示。 1958年美国真空协会定义：如果一个立方厘米内的气体分子个数少于2.5x1019。该状态称之为“真空”。 ?一个在给定的空间内的气体状态低于一个大气压就称之为“真空” 真空的历史 真空范围的划分 真空的单位 国际制单位: N/m2 1 N/m2 = 1 Pa = 0,01 mbar 其它单位: mbar 1 mbar = 100 Pa Torr 1 Torr = 1,33 mbar mmHG 1 mmHG = 1 Torr = 1,33 mbar Atmosphere 1 atm = 1013 mbar PSI 1 psi = 0,0145 mbar % Vacuum 1 % Vacuum = 10 mbar 务必明确所用单位! 有多种单位都在使用! 真空泵 ?*真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按其工作原理，基本上分为气体传输泵和气体捕集泵两种类型。 ?由于真空应用部门所涉及的工作压强范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用，只有根据不同的工作压强范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。 ?1) 真空泵的抽气速率（体积流率）------当泵装有标准实验罩并按规定条件工作时，从实验罩流过的气体流量与在实验罩上指定位置测得的平衡压强之比。S=Q/p. (m3/h, l/s) P1V1/T1=P2V2/T2 (设T1=T2，则P1/P2=V2/V1) ?2) 真空泵的 抽气量----流经泵入口的气体流量。（Pa.l/s） ?3) 真空泵的极限压强----泵装有标准实验罩并按规定条件工作，在不引入气体.正常工作的情况下趋向稳定的最低压强。抽速为零时的压强 真空泵的用途分类 ?根据真空泵的性能，在各种应用的真空系统中它可承担如下一些工作 ?主泵----在真空系统中，用来获得所要求的真空度的泵。 ?粗抽泵----从大气压开始，降低系统的压强达到另一抽气系统开始工作的真空泵。 ?前级泵----用以使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。前级泵也可以做粗抽泵使用 ?维持泵----在真空系统中，当抽气量很小时，不能有效的利用主要前级泵，为此，在真空系统中配置一种容量较小的辅助前级泵维持主泵正常工作或维持已抽空的容器所需之低压的真空泵。 ?增压泵---装于高真空泵和低真空泵之间，用来提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵的容量要求的真空泵。 真空泵的抽气范围 关于真空泵的问题 1.有真空泵可以从大气一直抽到超高真空的吗？ 2.罗茨泵可以单独使用吗？ 3.分子泵可以单独使用吗？ 4.低温泵的“再生”是什么？ 真空泵之——旋片泵 1.旋片泵： 旋片泵的抽气原理 罗茨泵 1.图片 2.原理： 3.罗茨泵的类型 1.带旁通阀： 2.直排大气型。 3.电机真空密封。 4.罗茨泵使用维修保养中的注意点。 1）不能大气启动。 2）加油量。 3）等等。 分子泵 1.图片： 2.原理 3.分子泵使用中的注意点 1.分子泵在正常运转时绝对不能拔下电缆插头！ 2.要有前级泵。 螺杆泵 1.图片： 2.原理 3.注意点 1.无油。 2.吹扫。 其它真空泵 1.扩散泵。 2.离子泵。 3.分子筛泵。 4.钛泵。 5.低温泵。 6.水环泵。 7.往复泵。 真空检漏 ·真空检漏 真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。 漏气对镀膜线生产的影响 1.工艺参数难以调整。 2.工艺重复性不好。 3.理化指标，超标。 4.影响均匀性。 5.可钢产品，钢化出问题。 6.脱膜。 关于捡漏的相关概念 1.漏率及其单位 ：PaL／s 。 2. 最大容许漏率 真空系统漏气是绝对的, 不漏气是相对的 。 3.氦气漏率和空气漏率 空气的分子量约为29，而氦气的分子量约为4，经过计算得出：氦气在穿过上述理想漏孔时，其流速应为空气流速的2.7倍。这就意味着，空气的最小可测漏