光纤光栅弹簧管压力传感器的压力和温度特性-光子学报.pdf

27 12 Vo127 No12 1998 12 ACTA PHOTONICA SINICA December 1998 刘云启 刘志国 郭转运 葛春风 董孝义 ( , 300071) 郑建成 李家安 ( , ) 本文利用弹簧管对于压力 机械放大作用, 将弹簧管与光纤光栅悬臂梁调谐技术相 结合, 研制了一种新颖 光纤光栅弹簧管压力传感器, 大大提高了光纤布喇格光栅对压力测 量 灵敏度, 压力灵敏度系数可达- 179 10- 4/ MP , 比裸光栅提高了两 个数量级, 在0~ 12MP 压力范围内, 光纤布喇格光栅中心反射波长 改变与压力成良好 线性关系同时 由于悬臂梁热膨胀效应 影响, 光纤光栅 温度灵敏度提高为裸光栅 7 倍 光纤布喇格光栅; 压力传感器; 灵敏度 0 1, 2 , , , , , Sm rt , , , 1 , , , , 3 1993 , M. G. Xu , , 70MP , 022nm, , , , , 4 1996 , M. G. Xu , , - 212 10- 6/ MP , , , , , , - 179 10- 4/ MP , , 12MP , 332nm, 0~ 12MP , , , 国家自然科学基金资助项目 收稿日期: 1998- 08- 10 27 1112 7 1 11 , , , , , ( ) , s p 5 s = k1p ( 1) 3 2 2 2 2 2 1/ 2 k = [ ( 1- )/ E] ( R / bt) ( 1- b / a ) [ / ( + x ) ] [ ( - sin) + ( 1- cos ) ] , E 1 , , R , a b 2 , t , x = Rt/ a , a/ b , , , k1 , ( 1) , s p 6 , , , 1 , , , , , , , , , , x ( 0 x L ) , 7 1 3xd = h (2) x 3 L h , L , d Fig. 1 Schem tic di gr m of FBG , Bourdon tube pressure sensor x x G