以创新PZT薄膜制程制作微振动发电元件-eTop-工程科技推展平台.pdf

行 精 類 行 年年 行 立 參理 李劉 陸 理 利 年 年 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告行政院國家科學委員會專題研究計畫成果報告 計 畫 編 號：NSC 95-2218-E-002 -052 執 行 期 限：95 年 8 月至96 年 7 月 主 持 人：吳文中 國立臺灣大學工程科學及海洋工程學系教授 共同主持人 ：張培仁 國立臺灣大學應用力學系教授2 1. 中文摘要中文摘要 deposed on silicon membrane or cantilever 中文摘要中文摘要 近年來在低功率電子零件的能量擷取 beam. It includes the design of new 技術上有愈來愈多的研究成果發表 ，並引 membrane topologies and the integration of PZT aerosol deposition method to improve 起廣泛的注意 ，尤其是在無線網路感測或 micro piezoelectric transformer performance. 者是生物醫學檢測等的各種應用 ，可以有 Moreover, based on the previous topologies 效的從環境振動再生能源以延長電池的 and design considerations, this project plans 使用壽命 。從各種可能提供能量來源比 to develop a piezoelectric MEMS generator 較，環境振動能已經被認定為可以提供作 which has the ability to scavenge mechanical 為能量擷取裝製能量來源的最佳選擇之 energy of ambient vibrations from their 一。 surroundings and transform it into electrical 本計畫除開發微型壓電變壓器 ，並整 energy that can be used in sensor networks 合 PZT 氣膠低溫沉積鍍膜法製程 ，開發新 and mobile electric devices applications. A 一代微型壓電變壓器 。此外，更將推展微 home-made PZT deposition chamber which could