国家标准非本征半导体材料导电类型测试方法任务落实.DOCVIP

PAGE PAGE 4 国家标准《非本征半导体材料导电类型测试方法》 （送审稿）编制说明 一、工作简况 1、项目背景和立项意义 导电类型是半导体材料的基本电学参数。在本征半导体中添加施主或受主物质(通常称为掺杂物)，通过施主型杂质解离向导带注入电子或受主型杂质俘获价带电子产生的自由载流子，使本征半导体产生额外的电导，成为非本征半导体。非本征半导体由于添加施主型杂质或受主型杂质分别成为N型半导体或P型半导体。在半导体材料的生产过程中，非本征半导体导电类型的测定对半导体设备的制造及研究和发展具有重要的意义。 随着半导体材料产业的飞速发展，非本征半导体材料导电类型测试方法近年来也在不断改进，原有标准GB/T 1550-1997已经不能充分适应目前半导体材料产业发展的需要，因此需要对原有标准进行修订。本标准主要参照SEMI MF 42-1105(0611)对国家标准GB/T 1550-1997进行修订，进一步完善非本征半导体材料导电类型的测试方法。 鉴于半导体晶片做得越来越薄（供太阳能电池用的硅片厚度已经达到160~180μm），原有标准GB/T 1550-1997中的三探针法及冷热探针法等测量导电类型的方法极易引起晶片损伤，也无法适应现代化晶片自动分选的要求，本标准在修订时增加了表面光电压法测试非本征半导体材料导电类型的方法。本标准修订后扩展了原标准的适用范围，有较强的适用性，将更为完整、先进，更好地满足半导体材料产业发展的需要。 2、任务来源 2015年8月，根据《国家标准委关于下达2015年第二批国家标准制修订计划的通知》（国标委综合[2015]52号）的要求，《非本征半导体材料导电类型测试方法》国家标准的修订任务由乐山市产品质量监督检验所负责，计划号T-469，任务完成时间为2015年～2017年。 3、项目承担单位概况 乐山市产品质量监督检验所是四川省乐山市质量技术监督局直属质检技术机构，是依据《中华人民共和国标准化法》和《中华人民共和国产品质量法》设置的法定检验机构，于1989年按照《计量法》规定首次通过计量认证和实验室审查认可。该所现有实验室面积约23000平方米，拥有价值超过8000万元的检验检测设备600多台套，能开展1000多项产品、3340个技术参数的检测。 乐山市产品质量监督检验所所属国家硅产品质量监督检验中心（四川）现有工作人员10名，其中高级工程师4名，工程师2名，助理工程师3名；其中有多人长期从事半导体材料分析，具有丰富的半导体材料分析检测经验。中心有等离子质谱仪、等离子发射光谱仪、常温及低温傅立叶变换红外光谱仪等35台套大中型设备；所有测量设备定期维护和溯源检定，其能力符合开展半导体材料检验的资源配置的要求。乐山市产品质量监督检验所具备标准起草工作的实验条件和能力。 4、主要工作过程 任务下达后，乐山市产品质量监督检验所成立了专门的标准编制小组，明确了工作指导思想，制定了工作原则、任务分工和试验计划。标准编制组收集、整理国内外相关技术资料，对国内外半导体材料产业相关现状展开调查研究，为标准修订提供技术参考和支撑。同时，组织专业技术人员进行导电类型测试方法的试验。在调研和试验工作的基础上，编制组拟定了该标准所涉及的适用范围、主要修订内容，于2015年10月完成本标准初稿的编写工作，并于2015年10月发给相关单位征求意见，先后共收到回函12个，意见建议26条。瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、广州市昆德科技有限公司、杭州海纳半导体有限公司等单位根据实际使用情况在回函中还对本标准新增加的表面光电压导电类型测试方法相关内容进行了必要的补充。标准编制组对意见回函进行了认真讨论研究，于2015年11月完成讨论稿的编写工作。 2016年4月26日，在江苏省泰州市召开的《非本征半导体材料导电类型测试方法》国家标准第一次工作会（讨论会）上，与会专家对标准讨论稿进行了充分的讨论，提出了修改意见。2016年5月-2016年8月，开展验证试验工作。选用不同导电类型、不同电阻率的18个硅单晶样品、8个锗单晶样品先后在乐山市产品质量监督检验所、峨嵋半导体材料研究所、昆明冶研新材料股份有限公司、新特能源股份有限公司、中国计量科学研究院、洛阳中硅高科技有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、江西赛维LDK太阳能高科技有限公司、广州市昆德科技有限公司、杭州海纳半导体有限公司、瑟米莱伯贸易（上海）有限公司、南京中锗科技有限责任公司共12家单位进行验证试验，收集整理试验数据，完成导电类型测试方法验证试验报告的编写。 根据2016年4月26日标准讨论会提出的修改意见及验证试验结果，标准编制组对 2016年8月5日编制组将征求意见稿发给相关单位征求意见，先后共收到回函14个，意见建议18条。按相关单位的意见、建议，标准