Q_FY001-2019电子工业用气体 四氟化碳.pdf

Q/FY 山东飞源气体有限公司企业标准 Q/FY 001－20 19 电子工业用气体 四氟化碳 2019-07-20 发布 2019-07-20 实施 山东飞源气体有限公司 发 布 Q/FY 001 －2019 前 言 本标准由山东飞源气体有限公司提出并起草。 本标准主要起草人：刘光宇、齐向东、郭英才、李文。 本标准为首次发布。 I Q/FY 001 －2019 电子工业用气体 四氟化碳 1 范围 本标准规定了四氟化碳的技术要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输及贮存。 本标准适用于氟和碳直接化合生成并经过纯化处理的四氟化碳产品。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所 有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的 各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则 GB 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 5832.1 气体湿度测定 第1 部分：电解法 GB/T 6681 气体化工产品采样总则 GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法 GB 7144 气瓶颜色标志 GB/T 8984 气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定 气相色谱法 GB 14194 永久气体充瓶充装规定 气瓶安全监察规程 3 技术要求 四氟化碳的质量应符合表1 规定： 表1 技术指标 项目 指标 四氟化碳（CF )纯度（体积分数） 10-2 ≥ 99.999 99.995 99.99 4 氮（N ）含量（体积分数） 10-6 ＜ 4 20 40 2 氧+氩（O +Ar）含量（体积分数） 10-6 ＜ 1 5 10 2 二氧化碳（CO ）含量（体积分数） 10-6 ＜ 1 5 10 2 一氧化碳（CO）含量（体积分数） 10-6 ＜ 0.1 0.5 1 六氟化硫（SF ）含量（体积分数） 10-6 ＜ 1 1 5 6 水分（H O）含量（体积分数） 10-6 ＜ 3 5 10 2 酸度（以HF 计）含量（体积分数） 10-6 ＜ 0.1 0.