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七、控制图: 控制图是一种有用的工序质量控制工具,可以预防废次品 的发生。 控制图是用来分析和判断工序是否处于稳定状态的一种图 形工具,它通过监视生产过程中工序质量随时间波动的情况, 判断工艺过程中是否出现异常因素,并采取相应的控制措施, 使工艺过程的质量状况得到控制。 控制图的种类: 按用途分: 分析用控制图:利用控制图对已经完成的生产过程进行分析,以评估该过程是否稳定,或确认改进的效果; 控制用控制图:对正在进行的生产过程实施质量控制,以保持过程的稳定。 当确认生产过程处于稳定受控状况时,再将分析用控制图的控制界限延长,转化为控制用控制图。 按质量数据的性质分: 计量控制图:①均值-极差控制图;②均值-标准差控制图;③中位数-极差控制图;④单值-移动极差控制图。 计数控制图:①不合格率控制图;②不合格品数控制图;③单位缺陷数控制图;④缺陷数控制图。 在计量控制图中,由于极差R的计算相对简单,因此在大量的生产活动中,均值-极差控制图成为首选应用的图种。而样本标准差S的计算比较复杂,且要求样本数n10,限制了均值-标准差控制图的应用。 平均值: 68.26% 95.44% 99.73% 曲线下的总面积 =100% -∞ +∞ 正态分布图 n 2 3 4 5 A2 1.88 1.02 0.73 0.58 D4 3.27 2.57 2.28 2.11 D3 0 0 0 0 1、收集数据 选择子组大小,频率和子组数量 建立控制图及记录原始数据 计算每个子组的X平均值和极差R 选择控制图的刻度 将平均值和极差画到控制图上。 2、计算控制限 计算极差的平均值和过程平均值 计算控制限 在控制图上画出中心线及控制线 举例: 以下为我司PECVD产品六月份膜厚量测数据统计表 武汉经开新能源有限公司 GREEN SOLAR (WUHAN) CO.,LTD 产品型号 单节 规格范围 规格值 子组数 控制规范 X Bar值 R值 量具名称 台阶仪 控制工序 PECVD 规格上限USL 580 25 控制上限UCL 456.63 58.46 量具精度 0.1埃米 控制项目 膜厚 规格中心值SL 440 子组样本数 控制中心值CL 440.68 27.65 抽样方法 随机抽取 测量单位 nm 规格下限LSL 380 5 控制下限LCL 424.73 0 控制人员 吴军华 抽样日期 6.1 6.4 6.5 6.6 6.7 6.8 6.11 6.12 6.13 6.14 6.15 6.18 6.19 6.20 6.21 6.22 6.25 6.26 6.27 6.28 6.29 7.2 7.3 7.4 7.5 判异原则:1、1点落在控制限外2、连续9点在中心线同一侧;3、连续6点递增或递减;4、连续14点中相邻点交替上下。 子组号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 21 22 23 24 25 样本检测值 1 421 437 465 430 450 451 437 465 453 430 456 450 431 446 457 435 462 460 451 437 426 422 445 429 442 2 430 440 451 425 432 421 446 450 437 413 432 450 411 432 442 434 430 449 431 456 440 412 460 458 425 3 460 465 440 453 437 420 420 470 456 425 437 469 423 425 429 421 465 430 426 470 451 435 442 443 429 4 425 455 450 422 443 437 421 445 461 433 441 442 428 437 437 437 460 462 437 453 438 439 461 440 431 5 441 462 466 456 453 436 417 447 431 433 426 458 446 457 433 411 437 455 441 451 442 416 450 434 415 ∑X 2177 2259 2272 2186 2215 2165 2141 2277 2238 2134 2192 2269 2139 2197 2198 2138 2254 2256 2186 22
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