应用影像式自动对焦法补偿待测平面倾斜之研究-AOIEA自动光学.pdfVIP

應用影像式自動對焦法補償待測平面傾斜之研究 陳俊仁 張君勵 洪敏偉 財團法人國家實驗研究院儀器科技研究中心 feet@itrc.org.tw hankchang@itrc.org.tw niiat@itrc.org.tw 摘要 掃瞄式檢測方法是檢測大型待測物經常使用之方法，但對於大型的檢測物(長度100 mm) ，待測物 的傾斜極易造成待測物檢測時影像失焦。目前常用額外之感測器或對焦補助裝置以達到維持檢測時 之對焦，但是其成本較為昂貴，並不適用各個產業。本文提出應用影像式自動對焦法檢測大型待測 物傾斜程度，並提出補償待測物之掃瞄路徑的方法，以避免待測物掃瞄檢測時之失焦情形，以達到 在不增加系統成本之情況下提高檢測之準確性。 關鍵字：掃瞄式檢測、自動對焦、路徑補償 壹、 前言 自動對焦廣泛應用於所有影像擷取應用上，最常見的自動對焦應用為相機及攝影機，自動 對焦除了可以協助使用者獲得更清晰之影像外，尚可以應用於表面高度或表面形貌的量 測，例如共軛