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第卷第期年月物理学报斜角入射沉积法制备渐变折射率薄膜的理论探讨沈自才邵建达王英剑范正修中国科学院上海光学精密机械研究所上海中国科学院研究生院北京年月日收到年月日收到修改稿从理论上分析了单一膜料倾斜入射沉积时的折射率与填充密度的关系给出了三种不同的表达式然后从正变和负变完整周期和存在半周期以及不同的周期数等几个方面探讨了膜层的填充密度按照线性变化时的渐变折射率薄膜的光学特性并将折射率的不同理论表达式对光学特性的影响进行了对比最后讨论了单一膜料倾斜入射沉积渐变折射率薄膜的方法填充密度线性变化时的渐变
第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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