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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报
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提高射频超导加速腔性能的表面干式处理研究!
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郝建奎 焦 飞 黄森林 朱 风 赵 夔
（北京大学重离子物理教育部重点实验室，重离子物理研究所，北京 ##$%）
（ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿）
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射频超导谐振腔以其优越性在加速器领域起到了常温加速腔无法替代的作用 超导腔的表面特性直接影响
)
到加速腔的性能 为进一步提高超导腔的加速性能，北京大学利用超高真空氩离子清洗技术发展了一种超导腔表
)
面的干式处理方法 与传统的湿处理方法（化学抛光 和电抛光 ）相比，干式处理方法具有其特有的优点，有
) *+, -,
可能成为一种新的超导腔表面处理方法，对提高加速腔的性能起到推动作用 进一步的研究正在进行之中
) )
关键词：射频超导，表面处理，溅射，抛光
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［— ］
率锻炼’ ( ，以降低二次电子发射产额，消除
的影响 高功率锻炼通常需要一到几个
@ 引 言 1;4J3:2J3?K )
小时 在 年 月进行的电子束加速增能实验
) ##’ (
射频超导谐振腔可以运行在连续波模式下，这 中，出现的 现象跟以往不同 在小功率
1;4J3:2J3?K )
［］
时还比较正常，随着馈入功率的增大，腔的信号出现
一优势是常温加速腔无法做到的 超导腔的加速
)
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