* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * Poly电容的两个电极分别是两层多晶硅,中间的介质是氧化层。 * * 在先进的cmos工艺中,金属互联层较多,对于混合工艺,可用最高的两层金属来做MIM cap,做MIM cap的金属之间的氧化层比较薄,因此需要额外的版,因为用高层金属实现,故底板寄生电容小,电容品质高。 * * 此为电容并联,看两侧的连线:金属一和金属三是一极为A,poly和金属二金属四是一极为B,c1一端是A一端是B,C2一端是A一端是B,依次类推,故直接的电容为并联。 * * * * * * * * 因为现在的晶圆一般都是P型衬底,那么版图就大都是nwell制程的,对于N阱cmos工艺,PNP比较常见。 * * * * * 场效应晶体管(Field Effect Transistor缩写(FET )简称场效应管。 * * 纵向NPN一般为VNPN(Vertical垂直的) * * * * 此处载流子是沿着晶体管断面的垂直方向运动。 * * * * * * * 由于时间限制我们在这里只对MOS类型的ESD保护结构及其版图设计方法做简单介绍。 为提升CMOS IC的ESD防护能力,在输入/输出PAD的ESD保护元件尺寸都会
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