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* 机械工程测试技术基础 第六章 位移测量 第一节 概 述 第二节 常用的位移传感器 第三节 位移测量的应用 第六章 位移测量 第一节 概 述 位移测量是线位移和角位移测量的统称,测量时应根据具体的测量对象,来选择或设计测量系统。在组成系统的各环节中,传感器性能特点的差异对测量的影响最为突出,应给予特别注意。 在不同的场合下对位移测量的精度要求不同,位移参量本身的量值特征、频率特征的不同,自然地形成了多种多样的位移传感器及其相应的测量电路或系统。 第一节 概述 10-8rad 0°~360° 光电式 分辨率好、可靠性高 10-6rad 0°~360° 接触式 角度编 码器 ±0.5° 0°~360° 圆光栅 ? 数字式,测量精度高,适合大位移静动态测量,用于自动检测和数控机床 3μm/1m 10-3~几米 长光栅 计量 光栅 ? 数字式,结构简单、接长方便,适合大位移静动态测量,用于自动检测和数控机床 2.5μm/250mm 10-3~几米 感应同步器型 结构简单、动特性好、温度稳定性较差 ±0.5% ±1.5mm 霍尔元件型 分辨力很好,但线性范围小,其他特点同变面积型 ±0.1% 0.01~200μm 变间隙型 结构非常简单,动特性好,易受温度、湿度等因素的影响 ±0.005% 10-3~100mm 变面积型 电容式 非接触式,使用简便、灵敏度高、动态特性好 ±3% 0~5000μm 涡电流型 分辨力较好、输出大,但动态特性不是很好 ±3% 0.08~300mm 差动变压器型 结构简单、可靠,仅用于小位移测量的场合 ±0.2mm 变气隙型 电感式 ±12° 摆角式 结构牢固、性能稳定、动态特性好 ±2% ±250μm 直线式 电阻应 变片式 分辨率较低,输出信号的噪声大,不宜用于频率较高时的动态测量 ±0.1% 0°~360° 角位移 结构简单、使用方便,输出大、性能稳定 ±0.1% 1~300mm 线位移 滑线电 阻式 性能特点 精确度 测量范围 类 型 第一节 概述 第二节 常用的位移传感器 一、滑线电阻式位移传感器 a)直线位移型 b)角位移型 c)测量电路 1—滑线电阻 2—滑动触头 滑线电阻式位移传感器具有结构简单、使用方便、输出大、性能稳定等优点,但由于触头运动时有机械摩擦,其使用寿命受限、分辨率较低、输出信号噪声大、不宜用于频率较高时的动态测量。 第二节 常用的位移传感器 二、应变片式位移传感器 应变片式位移传感器由弹性元件和应变片等组成,其测量原理是利用弹性元件把位移量转换成应变量,而后由应变片将应变量转换成电阻的变化量。应变片式位移传感器的种类有多种,其区别点就在于弹性元件的结构形式。常用的弹性元件有悬臂梁式、圆环式和半圆环式等。 ▲悬臂梁弹性元件 a)悬臂梁及贴片 b)应变片接桥 第二节 常用的位移传感器 对于等断面梁,贴片处的应变与位移间的关系为 若按上图所示的方法贴片和接桥,位移与应变仪读数的关系 对于等强度梁,则有 这种测量方法一般只用于小位移δ250μm的情况下。其主要特点是结构牢固、性能稳定、可靠,有较高的测量精度和良好的线性关系,与之配用的测量电路和仪器也较为成熟。 第二节 常用的位移传感器 ▲圆环或半圆环弹性元件 在被测位移作用下,圆环或半圆环弹性元件会产生弯曲应力和应变,其应变值与位移成正比。 第二节 常用的位移传感器 这种方法直接测量的位移量较小,为了扩大其量程,可通过一些装置将小位移进行变换。例如,用用一斜面将小位移变换成大位移的装置。 第二节 常用的位移传感器 三、差动变压器式位移传感器 1—次侧线圈 2—二次侧线圈 3—二次侧线圈 4—铁心 输出电压 第二节 常用的位移传感器 输出信号e0是一个交流信号,其幅值与位移Δl 成正比,而频率则等于交流电源的频率(当Δl 是常量时)或与之有一定的关系。差动变压器也是一种调制器。对于这样一个调制信号,在其后续的测量环节中一般要设置一个典型的测量电路——相敏检测电路,目的是即能检测位移的大小又能分辨位移的方向。 国产的差动变压器式位移传感器已有多种,其测量位移范围有:0~±5mm,0~10mm,…,0~300mm等。 差动变压器式位移测量系统具有精度较高、性能稳定、线性范围大、输出大、使用方便等优点。由于可动铁心具有一定的质量,系统的动态特性较差。 第二节 常用的位移传感器 四、光电脉冲式位移传感器 光电脉冲式位移传感器实际上是一个位移-数字编码器,工作时可将机械位移转换成定数量的电脉冲信号输出,其工作原理如下图所示。 a)测量角位移的透射式光电脉冲转换器
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