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第卷第期人工晶体学报年月非晶硅薄膜制备及其晶化特性研究罗士雨冯磊汪洪林辉滕浩黄涛华周圣明中科学院上海光学精密机械研究所上海安徽大学物理与材料科学学院合肥摘要用磁控溅射法在玻璃上沉积了非晶硅膜和膜并将其在流动的气氛下进行退火对退火前后的样品进行光谱和表征和分析光谱表明随着退火温度的升高膜的散射峰出现了明显的蓝移但结果表明薄膜仍为非晶态而膜在温度很低时就已经开始晶化关键词磁控溅射非晶硅多晶硅中图分类号文献标识码文章编号一删引言在硅薄膜太阳能电池材料中非晶硅薄膜材料的制造工艺相对简单但其转换效率较低寿
第 37卷 第 5期 人 工 晶 体 学 报 V01．37 No．5
2008年 10月 JOURNAL OF SYNTHETIC CRYSTALS October，2008
非晶硅薄膜制备及其晶化特性研究
罗士雨 ，冯 磊 ，汪 洪 ，林 辉 ，滕 浩 ，黄涛华 ，周圣明
(1．中151科学院上海光学精密机械研究所，上
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