CoTaZrAl2O3软郑磁颗粒膜的性能研究及其电感仿真.docx

优秀毕业论文 精品参考文献资料 摘要摘 摘要 摘 要 随着电子工业，通讯技术的迅速发展和电子设备的不断小型化，电子元器件也趋 于微型化，这就要求磁器件向小型化和高频化方向发展，具有高饱和磁化强度Ms、高 电阻率P、高磁导率¨和低矫顽力H。的高频软磁薄膜成为磁性材料发展的必然方向。 由金属和绝缘体介质组成的纳米颗粒膜材料已经成为软磁材料研究中的重要课题之 一。本文采用射频磁控溅射法制备了一系列的(CoTaZr)dAl203)1。纳米颗粒膜，研究了 其在不同工艺参数(功率和气压)下的电阻率、软磁性能和微观组织结构，以期制备 出具有高电阻率和优良软磁性能的可以应用于高频电感器中的薄膜材料。并采用 Ansoft HFSS有限元模软件系统地研究了平面矩形螺旋结构加载磁膜后磁性薄膜的厚 度和电阻率对电感性能(L和Q)的影响。得出主要结论如下： 1)由于溅射产额不同，Ah03含量随功率的增加先减小后增加，CoTaZr含量随着功率 的增加先增大后减小，A1203含量从100W时的47．86％增加到了140W时的50．19％， 功率增大到140W时，薄膜中A1203含量(50．19％)略大于CoTaZr含量(49．81％)；Ah03 的含量的体积百分比随着气压的增大先增大后减小，而CoTaZr的含量先减小后增 大，气压为1．5Pa时，A1203的含量为最大，为49．53％，此时Co磁r的含量最小