无机材料科学基础第七章 固体材料中的扩散.pptVIP

* 示踪原子在晶界和晶内的 浓度分布图 锌在黄铜中的扩散系数图 * 银在单晶体和多晶体中的自扩散系数随温度的变化 图 Ag的自扩散系数Db，晶界扩散系数Dg和表面扩散系数Ds 0.4 0.8 1.2 1.6 2.0 2.4 3.0 Ds Dg Dg 5. 形成化合物的反应扩散 A+B--→C 假设 1）ABC之间不互溶，且C由一个A和一个B组成 2）反应物和产物要致密，接触良好 3）只有一种反应产物C 4）在等温下进行 5）在反应层中及在物相界面保持局域稳态 6）反应截面不变 C A B μB μoB μoA μA O x 反应扩散：通过扩散而形成新相的现象。 以化学势梯度为驱动力： C A B μB μoB μoA μA O x 对(3)微分 由1、2、4得 对（5）进行移项，积分得： x2=2LA(μA-μoA)Vct=kt 这里LA、 μA-μoA为常数，生成化合物的厚度符合抛物线规律。 讨论： 1）金属的氧化锈蚀反应 2）生成多种化合物 1）金属的氧化锈蚀反应 M(S)+n/2X2 → MXn 反应速度遵守什么规律和以下因素有关： a）金属种类 b）反应的时间阶段 c）产物的致密程度 d）温度 e）相分压等 对于薄层时(100nm)：有立方规律、对数、及抛物线规律 对于厚层时(100nm):直线规律（如表面控制） 抛物线规律(体扩散控制） 1． 渗入元素浓度超过溶解度，发生化学反应而形成新相的扩散，可参照相图分析，如Fe-N相图 分析，纯铁520℃渗氮 2） 生成多种化合物（Fe中掺N） 纯铁渗氮后浓度变化 纯铁渗氮后表面氮浓度分布 二元系中反应扩散，渗层中无两相区。三元系反应扩散渗层中无三相区 二元合金扩散不形成两相混合区 1．在一定的温度下相律： f = c - p 2 ．扩散过程进行中，系统没有达到平衡，f 0 3 ．C = 2 p 2 即存在相数 p = 1 原因说法一 原因说法二 扩散能够不断向内进行，是因为材料内存在连续分布的化学位梯度，如果出现两相平衡，则此区域内的化学位梯度为０，扩散就不能进行，这将与事实相矛盾。 例题1 通常在设计中利用不同的掺杂物制造p型或n型掺杂半导体晶体管。已知1100℃时，磷（P）在硅中的扩散系数是D＝6.5×10-13cm2/s。假设表面源提供的浓度为1020 atoms/cm3，扩散时间为1小时，初始时硅圆片中没有磷原子。计算多深距离处磷原子的浓度为1018atoms/cm3，并说明计算过程中所做得所有假设； 解： 假设可以使用菲克第二定律的结论公式 高斯误差函数表 又因为 所以 上述解答过程中所做的主要假设有： i.在磷（P）扩散到硅圆片的过程中D的值保持不变； ii.P的扩散是一维扩散。 例题2 Zn2+在ZnS中扩散时，563°C时的扩散系数为3×10－4 cm2/s；450°C的扩散系数为1.0×10－4 cm2/s，求 （1）扩散活化能和Do； （2）750°C时的扩散系数； （3）根据你对结构的了解和活化能大小的数据，请从缺陷扩散的微观机制来推断激活能的含义； （4）根据ZnS和ZnO相互类似，预测D随硫分压而变化的关系。 解：（1）由D=D0exp(-Q/RT)， 有lnD=lnD0-Q/RT ln(3×10－4 )=lnD0-Q/R(563+273.2) (1) ln(1×10－4 )=lnD0-Q/R(450+273.2) (2) 解方程组得：Q=48.9kJ/mol D0=0.34 （2）750度时的扩散系数： D=D0exp(-Q/RT)=0.34exp[-48900/8.314(750+273.2)] =1.08×10-3(cm2/s) （3）从计算的结果看，扩散活化能为48.9kJ/mol，扩散活化能比较小，因此锌的扩散是通过间隙锌进行扩散的。扩散活化能主要为间隙锌离子扩散时引起周围离子的畸变而产生的弹性应变能。 Zn1+xO：看成ZnO与Zn2O构成的固溶体(阳离子间隙型） 缺陷反应为： 载流子类型：n型 缺陷与氧分压间的关系 扩散系数与氧分压的-1/4次方成正比，也就是氧分压增加锌的扩散系数下降。 （4）D与硫分压间的关系 由ZnO中氧分压间的关系，得到ZnS中硫分压间的关系 扩散系数与硫分压的-1/4次方成正比