传感技术课件(9).pptVIP

8.4 声表面波传感器技术 任何量只要能引起 v、l或 lp发生变化，就会使SAW振荡器的振荡频率发生变化。通过振荡电路检测出振荡频率的变化就可以建立起频率偏移与待测量之间的关系。 若在两又指电极或反射栅之间覆一层对某种气体或湿度敏感的材料就可制成SAW气体或湿度传感器。 现代传感器技术 * 8.4 声表面波传感器技术 无源遥测是SAW传感器的一大优势，从结构上看，无线SAW传感器也可分为延迟型和谐振型两种，但工作原理不同于一般的SAW传感器，以延迟型为 现代传感器技术 * 例，传感器由压电基片、叉指换能器、反射栅及读写器（高频激励∕接收装置）组成。工作时读写器发射出脉冲激励信号，由敏感基片的天线接收无线信号，并通过IDT将电磁信号转换为声表面波。声表面波经过一段延迟后由反射栅反射回来，再通过IDT将信号转换为电磁波信号，并经天线发射出去，再由读写器接收处理。 8.4 声表面波传感器技术 脉冲信号从发射到接收的返回时间主要由读写器与IDT天线的距离、IDT与反射栅之间的距离以及声表面波波速来决定，即脉冲信号从读写器发射到回收的传播时间为： 在遥测时，读写器与敏感基片之间距离的变化也会引起传播时间的变化，为解决这一问题，在基片上设置多个反射栅，反射栅之间的时延只反映器件本身的状态，而不受读写器与敏感基片之间距离的影响。在实际测量中，由于时延值非常小，常采用测量