精准制造光电子集成器件.ppt

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * REC集成激光器阵列 突破性的技术：解决了20多年没有解决的难题: 波长间隔控制比传统技术好两个数量级 “Experimental demonstration of eight-wavelength distributed feedback semiconductor laser array using equivalent phase shift”, Optics Letters, 37(16), pp. 3315-3317, 2012. 2012年: 本组施跃春博士发现：REC技术在波长控制上可以做到非常精确，波长间隔控制精度理论上比传统技术好2个数量级 国际 标准 1 2 3 4 5 6 7 8 2 1 3 45 8 7 6 比较混乱 需要付出极大的代价 较整齐 调整比较容易 传统技术 REC技术 REC集成激光器技术 历史机遇：制造最简单、信道数最多、波长间隔最准 完全是采用工业流程的实验结果 已经实现60通道（世界纪录）的阵列芯片，波长间隔典型误差±0.2nm！现在典型误差已经接近0.1nm左右 REC集成激光器技术 The frequency count of wavelength residual of (a) 871 lasers with seed grating Bragg wavelength of 1640?nm (b) 781 lasers with seed grating Bragg wavelength of 1660?nm. The standard deviations of the two groups of lasers are 0.16 nm and 0.15 nm respectively. Y. Shi et. al., Science. Reports, vol. 4, 07377 (2014) 光子集成上的精准技术？ 完败最好的实验室之一 — 美国贝尔实验室 设备工艺水平比我们好得多，但是结果比我们差得远： 创新的力量 贝尔实验室：16个波长间隔偏差+/-0.5nm的成品率仅为 0.8% 我们结果：60个波长几乎接近 100% From:“Multiwavelength DFB laser array transmitters for ONTC reconfigurable optical network testbed”. Journal of lightwave technology 14(6) 1996, 967-974, Tien-Pei Lee, et. al.” REC集成激光器技术 所有在±0.2nm内，81%在±0.1nm内 J. Lu et. al., Opt. Lett., vol. 40, 5136 (2015) REC集成激光器技术 被美国团队和公司模仿 2014-2016年该美国集成光子制造创新研究院（AIM-Photonics）首席技术官、MIT教授MR. Watts领导的研究组申请了相关专利，直接采用我们提出的REC技术（等效相移）申请了硅基激光器阵列方面的专利内容，认为几乎只有该方法才能够实现波长间隔精准的激光器阵列 REC集成激光器技术 采用REC技术，美国麻省理工学院（MIT）用标准集成电路CMOS兼容工艺，研制出波长间隔误差精度达到 10pm 的阵列光集成器件，接近REC技术理论值，并申请专利。 REC集成激光器技术 被美国团队和公司模仿 2014-2016年NASDAQ上市公司、美国激光器芯片专业制造公司—应用光电子公司AOI（Applied Optoelectronics, Inc.）开始研发应用于WDM-PON的可调谐激光器产品，其申请的可调谐专利（US 20150078751A1）中直接模仿我们提出的方法来制作相关的器件。本项目团队的类似专利申请比该公司早一年 REC集成激光器技术 2014年NASDAQ上市公司、美国激光器芯片专业制造公司—应用光电子公司AOI（Applied Optoelectronics, Inc.）开始研发应用于WDM-PON的可调谐激光器产品，其申请的可调谐专利（US 20150078751A1）中直接模仿我们提出的方法来制作相关的器件。本项目团队的类似专利申请比该公司早一年 被美国团队和公司模仿 REC集成激光器技术 历史机遇：实现集成激光器阵列波长微结构的精准制造