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微型加速器计;; 加速度计是根据惯性原理相对惯性空间工作。直接测量加速度本身是很困难的,虽然载体的加速度可以通过位移传感器或速度传感器获得,但通常大多数加速度计是借助敏感质量将加速度变成力进行间接测量的。根据牛顿第二定律,作用于物体上的力等于该物体的质量乘以加速度。换言之,加速度作用在敏感质量上,敏感质量将其感应为惯性力,测量该惯性力,就可以间接地测量到载体的加速度。;力学模型图; 加速度计一般是利用质量为m的敏感质量块(振动块)来测加速度的。外部加???度对质量块发生作用,我们通过测量质量块的位移(振幅)。其动态特性可由二级微分方程表示。也可以测量保持其位置不变所需的力,这时,需要有一个闭环控制系统,也称为有源加速计,基于牛顿第二定律,来得出加速度值。加速度计是一种高固有频率的传感器,而微加速度传感器,由于尺寸微小,刚度大,其固有频率是很高的,所以被广泛应用。
微型加速度计的基本原理大致相同,但有很多种类型,如压阻式、电容式、压电式、热传导式、隧道式等。;;;;;;传感器的前景和发展;谢谢观看
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