多晶硅还原炉电源系统的一体化解决方案.docVIP

多晶硅还原炉电源系统的一体化解决方案 ???????? 四川英杰电气有限公司 摘? 要：多晶硅是生产环保新能源——太阳能光伏电池的最基础的材料。本文首先概述了多晶硅生产工艺及其实现方法，然后着重描述了多晶硅还原炉电源系统的一体化解决方案以及针对用户的配套方案。关键词：多晶硅还原炉；电源系统；多晶硅生产工艺；太阳能光伏电池；一体化解决方案中图分类号：???????????? 文献标识码：?????? 文章编号：1 引言 ??? 众所周知，硅材料是半导体工业，电子信息产业，太阳能光伏电池产业的最重要、最基础的功能性材料。而在整个硅材料产业链中，多晶硅是最重要的一环，也是制约我国硅产业发展的主要瓶颈之一。多晶硅作为制备单晶硅的唯一原料和生产太阳能电池的材料，随着近些年来全球单晶硅生产迅速增长和全球光伏发电的环保能源的旺盛需求，使得多晶硅市场异常火爆。??? 目前多晶硅生产技术主要有：改良西门子法、硅烷法和流化床法，从多晶硅生产的主要工艺技术的现状和发展趋势来看，改良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产，以其技术成熟、适合产业化生产等特点，仍是目前多晶硅生产普遍采用的首选工艺。但该技术主要被美、日、德等国垄断，直到2000年左右才寻到机会，从俄罗斯引入，然后在有关研究院的努力下，形成了国内自有技术，攻克了多晶硅制造及产业化的基础性关键性问题，使得大规模生产成为可能。随着多晶硅项目红红火火地展开，也就将配套设备的相关问题暴露了出来。据有关专家分析，我国多晶硅在工业生产方面与国际先进水平的差距主要表现在四个方面：一是工艺、设备落后，导致物料与电力消耗过大；二是生产规模小；三是超高纯产品难以获得；四是成本没有竞争力。??? 这样一来大家都不得不注意到：方案及其设备的性能好坏直接影响着多晶硅生产的品质和成本，同时对于设备能否长期稳定、可靠运行以及设备后期维护的难度和效率也对生产影响深远。所以选择一个好的方案，选择一套性价比高的设备，选择一个专业的、综合实力雄厚的、拥有自主知识产权的、能长期稳定运作的、服务响应快捷的、不受国际关系剧烈动荡影响的、可靠的公司成为了当前国内众多企业的首选。??? 在以下的章节中，将着重对多晶硅还原炉电气系统的一体化解决方案及其设备性能进行介绍，抛砖引玉以便有关企业共同探究。 2 各种解决方法2.1? 多晶硅生产工艺简述??? 改良西门子法采用氢还原三氯氢硅的方式生产多晶硅。三氯氢硅还原在超低碳的不锈钢或镍基合金制成的水冷炉壁还原炉内，用氢将三氯氢硅还原成硅。炉内有不透明的石英钟罩和用细硅芯或钽管制成的发热体。细硅芯是用超纯硅在特制的硅芯炉内制成。在进行化学气相沉积之前，由于硅在常温时电阻率很高，因此硅芯必须在石英罩外用电阻加热至300℃或用几千伏的高压电启动。经过提纯的氢气在挥发器将三氯氢硅自炉底带入炉内，于1100℃左右进行还原反应，使硅沉积在发热体上。由于诸多原因使硅的沉积速度较慢，一般不超过0.5mm/h，生产直径为150～ 2.2? 工艺实现的方法??? 基于上述工艺可知，多晶硅生产首先需要启动，然后再进行还原生长。目前从行业实际应用情况来看，还原生长方法的差异主要在于电气技术上（见第3.3.2节），而还原启动方法的差异较大：??? ◆外加热方法??? 由于硅在常温时电阻率很高，不易导通，业内多晶硅生产厂家常采用 ①石墨加热、②等离子加热、③卤素灯加热等外加热方式，将还原炉炉温加热至300℃左右，还原电源输出中压，使硅芯导通，完成启动过程，然后继续加热进行化学气相沉积，完成还原生长。但以上启动方案或多或少存在：操作麻烦、起动时间长、效率低、启动成功率低、影响硅纯度、还原设备复杂等弊端。??? ◆ 3 一体化解决方案3.1 概述??? 英杰电气公司在成功开发出单晶硅电源、多晶硅铸锭电源的同时，积极探索多晶硅还原炉电源系统的关键技术，于2007年底成功推出多晶硅还原炉电源系统的一体化解决方案。该方案的核心部份由高压启动电源和还原电源组成，辅以切换柜、隔离柜、接地柜及上位DCS系统组成了整个电源系统，能够成功完成多晶硅从启动到还原生长的所有工艺控制过程。多晶还原在生产方式上分为9对棒、12对棒、18对棒、24对棒，这里主要介绍基于 12 对棒的多晶硅还原炉电源系统的一体化解决方案，系统构成如图1。 图1? 多晶硅还原炉一体化电源系统构成 ??? ▲系统原理说明??? 如图2所示：还原炉电源系统首先启动高压击穿电源，提供0～12kV高压击穿硅芯；待硅芯击穿恒流加热数秒后，切换到维持电源，提供0～4kV中压加热硅芯，继续提高炉温；维持电源加热数分钟后，切换到还原电源，提供0～1.6kV对硅芯加热，此时完成启动过程；接下来完全由还原电源加热进行化学气相沉积，在长达一周多的时间