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QUST 半导体物理 第七章 半导体物理基础 QUST 半导体物理 半导体物理基础 第七章 金属和半导体的接触 第七章 9.1 金半接触的能带图 9.2 金半接触的整流输运理论 9.3 少子注入和欧姆接触 第七章 9.1 金半接触的能带图 9.1.1 功函数和半导体电子亲合能 金属功函数: -真空能级与金属费米能级之差 电子亲和能χ:真空能级与导带底之差 E0:真空能级 真空中静止电子的能量 En 半导体功函数: 金属与半导体接触??? 第七章 9.1.2 接触电势差 D 1 (Wm Ws) 肖特基势垒 D → 0 D 接触电势差 表面势:半导体表 面和体内的电势差 电子阻挡层 电子反阻挡层 空穴反阻挡层 空穴阻挡层 D = 0 第七章 9.1.3 表面态对接触势垒的影响 -施主表面态、受主表面态 -高表面态钉扎 接触前 接触电势差完 全落在间隙上 紧密接触 极限情况 第七章 9.2.2 势垒区的电势分布 -n型半导体 泊松方程 9.2 金半接触的整流输运理论 阻挡层: 高阻,整流 反阻挡层: 低阻,欧姆 整流 欧姆 欧姆 整流 9.2.1 整流 作用 第七章 * 肖特基接触的势垒电容 施加反向偏压V时 平行板电容 与单边突变p-n结相同 第七章 9.2.3 扩散理论 -适用于势垒宽度电子平均自由程 ,即 ln d 同时考虑势垒区扩散和漂移电流 第七章 积分 当-q(VD+V)kT,被积指数函数随x急剧减小。主要取决于x=0附近的电势值 第七章 平衡态近似 积分 第七章 -适用于势垒宽度电子平均自由程 JSD 第七章 9.2.4 热电子发射理论 -适用于势垒宽度电子平均自由程 ln d 单位体积中,v-v+dv范围内的电子数 单位体积中,E-E+dE范围内的电子数 第七章 单位体积,速度空间电子的分布 实空间单位面积,单位时间,速度vx(0)的电子都可以到达金半界面,其数目为 可以越过势垒电 子的能量要求 vx 积分限: vx0 → +∞ vy 积分限: -∞→ +∞ 电流密度 vz 积分限: -∞→ +∞ 第七章 vx : vx0 → +∞;vy : -∞→ +∞;vz : -∞→ +∞ -半导体到金属的电子流 依赖于电压 第七章 -金属到半导体的电子流基本不依赖于电压 Jm→s :常数 V = 0, J =0 第七章 9.2.5镜像力影响 电子总电势能 由此,镜像力所引起的势垒降低量随反向电压的增加而缓慢的增大,当反向电 压很高时,势垒的降低变得明显,镜像力的影响才显得重要。 第七章 9.2.6 隧道效应影响 临界厚度xc xc d 可见,镜像力和隧道效应引起的势垒降低量随反向电压的增大而缓慢增大,当反向电压较高时势垒的降低变得明显。因此,这两者对反向特性影响比较显著。 第七章 9.2.7 pn结和肖特基势垒二极管 第七章 9.3 少子注入和欧姆接触 9.3.1 少子注入 V = 0 (平衡态) 空穴扩散与电场抵消 V 0 (正偏) 空穴扩散主导 x = d 少子注入比 第七章 9.3.2 欧姆接触 金属-重掺杂半导体接触 ND = 1019 cm-3 d ~ 102 ? 电子隧穿通过势垒区 ND1 第七章 1 线性 I-V, 正反向对称 2 重掺杂接触电阻很小 人有了知识,就会具备各种分析能力, 明辨是非的能力。 所以我们要勤恳读书,广泛阅读, 古人说“书中自有黄金屋。 ”通过阅读科技书籍,我们能丰富知识, 培养逻辑思维能力; 通过阅读文学作品,我们能提高文学鉴赏水平, 培养文学情趣; 通过阅读报刊,我们能增长见识,扩大自己的知识面。 有许多书籍还能培养我们的道德情操, 给我们巨大的精神力量, 鼓舞我们前进。 * * QUST 半导体物理 第七章 半导体物理基础 QUST 半导体物理 半导体物理基础 * *
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