介质膜系和其应用讲义.ppt

介质膜系和其应用;教学内容;补充：光学膜系基本知识;一般可以表示为： G/xMyHzL/A S/xMyHzL/A ;G/M1.8HL/A;2.1 减反射膜（增透膜）;;单层减反膜和多层减反膜;在入射界面上镀一层低折射率（ n0 nf ns ）的膜层减少反射率。; 单层减反膜理论上只能在一个波长处实现零反射率所以色中性差，即反射率的波长相关性强, 影响成像系统的色平衡）； 实际上，满足 条件的光学玻璃并不存在，很难实现零反射，剩余反射率不理想(常用的薄膜最低折射率材料氟化镁（1.38）)。;为改善单层减反膜的不足：色中性差以及很难实现零反射，提出双层减反膜的设计。具体结构有: 1）双层?/4膜堆 2） ?/2 ~?/4膜堆;G?L?A变成G?HL?A 可以实现零反射，但不能克服色中性差的缺陷; R－?曲线呈V型，通带越来越窄（和单层膜比较),适用与工作波段较窄的场合.;G?2HL?A 膜系：基质? ?/2膜层? ?/4膜层?空气;1）反射率在参考波长处与?/2膜层光学参数无关，等价与一单层减反膜系；;(1)在参考波长处反射率较双层?/4膜堆高 (2)该波长两侧R－?曲线较平坦，色中性较好;目前大多采用的三层膜结构为G?M2HL?A，更多层的膜系大多是以此为雏形发展而来的。;;;(1)?=m?时(m为整数) → sin? = 0 →T=T max=T0 (2) R1＝R2时，T0＝1。 (3)如F1和T0＝1 → T＝在1~(1－F)之间。 (4)当T0≠1，R min=1－T0 , R max=1－T0 /(1＋F)。;例题1 三层增透膜的结构参数为：求在参考波长处的反射率和透过率。 ;求上等效界面的等效反射率R1：;第二步：求以上下两表面反射率分别为R1、R2的?/2膜层等价透过率： ;当波长偏离参考波长时，R1和R2的值发生变化； 如图所示R1和R2与波长的曲线无交点。 整个膜系透过率T曲线呈V型。;如果n3的折射率变为1.62, 其它不变, 则在参考波长处R1值不变, R2值变为0.00733。;(1) 通过调节间隔层的厚度(等价于调节等效相位厚? )调节反射率最小的波长位置； (2)改变第一层或第三层的厚度可以改变R1和R2对波长曲线的水平相对位置(等价于调节等效相位厚?1、?2) ，其结果是改变低反射光谱的宽度以及整个膜系的反射率； (3)利用不同的折射率n1 、n3可改变R1和R2的相对大小。;1??以G?M2HL?A膜系为初始膜系，将目标设计指标输入膜系设计软件，将膜层厚度和折射率作为可调整的变量，由计算软件自动给出优化设计； 简单，但经常无法满足要求。;等效定律 任意一个周期性对称膜系都存在一个单层膜与之等效。 等效折射率就是基本周期的等效折射率；等效相位厚度等于基本周期的等效相位厚度的周期数倍。;二个独立方程五个参数（三个膜层厚度+两个材料折射率）;1）优化出一个可以达到目标的最少膜层的?/4膜系结构； 2）用三层对称膜系合成折射率不易实现的膜层； 3）再次优化膜层厚度，以补偿合成所带来的特性下降。;高折射率基底的减反膜?红外光谱区;总结： 1）掌握减反膜的作用及应用； 2）掌握减反膜结构及其计算方法； 3）了解减反膜设计的基本思路。;2.2 高反射膜;二、介质高反射膜;1、单层介质高反射膜光学特性;注意：;2、周期性多层膜堆的光谱特性;以G?H(LH)S?A形式→G?(HL)SH?A形式为例分析：;分析：理论上，nH/nL越大、膜层数（2S+1）越多 →反射率越高。;G/(HL)4H/A;周期性膜堆(LH)s的高反射带(位置);重要结论;H(LH)S 周期性多层膜的光谱特性; 周期性膜堆(LH )s的高反射带（宽度） ;;1)当膜料一定的情况下，所有高反射带的波数宽度相等；;3) 波数g表示的高反射区：;等效光学导纳均为：;高反射率区间：;注意：; G/(LH)S/A膜系与G/H(LH)S/A对比;非等厚周期膜系(增加带宽);求2:1膜堆;1）1?4波堆的高反带对于g＝1, 2, 3…呈对称的，而非等厚的周期膜系不一定具有对称性。;高反射带的展宽(解决带宽不够的问题);使各膜系的光学厚度形成规则的递增或递减。其目的是使相当宽的波段区域内任何波长光都具有足够多的膜层，其光学厚度均十分接近?/4，所以这些光有足够高的反射率。（各膜层的厚度可以成等差数列也可以成等比数列设计）;方法二：;;;1）在两多层膜的中间加入一层厚度为?/4平均波长的低折射率介质膜； 2）两个中心波长不同的对称周期膜堆的组合成单一膜堆。;G/0.9[H(LH)4]1.1[H(LH)4]/A;G/0.9[H(LH)4]L1.1[H(LH)4]/A;倾斜入射的高反射带;1） S光