宽固溶区过渡金属氮化物MNxM=TiZrHf硬质薄膜原子-金属学报.pdfVIP

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2019-10-01 发布于天津
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宽固溶区过渡金属氮化物MNxM=TiZrHf硬质薄膜原子-金属学报.pdf

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第52 卷第12 期 Vol.52 No. 12 2016 年 12 月第1601-1609页 ACTA METALLURGICA SINICA Dec. 2016 pp. 1601-1609 宽固溶区过渡金属氮化物MN (M=Ti, Zr, Hf)硬质 x 薄膜原子尺度强化机制研究* 1) 1) 1) 1) 2) 2) 韩克昌刘一奇林国强董闯邰凯平姜辛 1) 大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室, 大连 116024 2) 中国科学院金属研究所, 沈阳110016 摘要采用增强磁过滤电弧离子镀技术在单晶Si 基片上制备了3 组不同过渡金属的氮化物薄膜MN (M=Ti, Zr, Hf). 利用 x FESEM, GIXRD, XPS, Nano Indenter 等方法对MN 薄膜的形貌、厚度、相结构、成分、元素的化学态、残余应力、弹性模量和 x 硬度等进行了表征. 结果表明, 3 组MN 薄膜均在较宽的成分范围内表现为fcc 单相结构, 并且同组薄膜间的择优取向、厚 x 度、晶粒尺寸和残余应力等均基本保持一致; 特别是3 组薄膜的硬度和弹性模量均随N 成分x 的变化而变化, 并且都在x= 0.82 附近出现性能峰值. 分析表明, MN 薄膜与成分相关的性能增强, 其决定性因素不在于介观尺度的晶粒细化、择优取向 x 及内应力等, 而是取决于原子尺度的化学键合及电子结构等因素. 关键词过渡金属氮化物薄膜, 电弧离子镀, 成分, 力学性能, 强化机制中图法分类号 O53 文献标识码 A 文章编号 0412-1961(2016) 12-1601-09 STUDY ON ATOMIC-SCALE STRENGTHENING MECHANISM OF TRANSITION-METAL NITRIDE MNx (M=Ti, Zr, Hf) FILMS WITHIN WIDE COMPOSITION RANGES HAN Kechang 1), LIU Yiqi 1), LIN Guoqiang 1), DONG Chuang 1), TAI Kaiping 2), JIANG Xin 2) 1) Key Laboratory for Material Modification by Laser, Ion and Electron Beams, Ministry of Educatio