在距离测量时空气折射率的实时补偿.pptxVIP

报告人：张骏 学号：20155208004;研究背景现状 实验原理 实验结果 总结;实现纳米尺度的光学和电子器件的大规模商品生产（如集成电路和平面显示器）需要配备具备几米范围内进行亚微米定位能力的精密机械。如此长范围控制的精密运动的最好尝试是激光干涉仪。然而，当激光干涉仪在空气中被用来测量数米长的距离时，可达到的测量不确定最终由周围空气的折射率的不稳定性限制。受温度，压力，湿度和CO2浓度这些环境参数的影响，空气折射率本质上不是静态的，因为它与时间以及位置有关。因此，严格的环境控制同空气折射率的准确识别是必要，以达到在几米测量中的不确定度低于百万分之一。空气折射率的补偿是激光干涉测距中的重要环节。;现状;间接测量：以计算公式为主，在测量空气的各项参数后根据公式求得相应的空气折射率。1966年Edlen在大量实验结果的基础上建立了空气折射率的经验公式，也就是著名的Edlen公式（空气的折射率和空气的大气压力，温度，湿度，二氧化碳含量等有关）。 直接测量：由仪器直接测出，具有实时性，从而也更具有实用价值。目前的测量方法主要以干涉测量为基础。 目前直接测量的方法有：①抽气法②多波长法③梯形真空腔法④瑞利干涉仪测量法⑤F-P干涉仪拍频测量法⑥波纹管双干涉测量法⑦全反射相位跳变法等 上述几种测量方法存在着结构复杂体积大（如抽气法，瑞利干涉法， F-P拍频法），实验条件要求苛刻（如波