第四节 离子注入表面改性技术 -.pptVIP

第四节 离子注入表面改性技术 4.1 离子注入的特点 4.2 离子注入的原理 4.3 离子注入在高分子材料表面改性的应用 2016/3/28 什么是离子注入 离子注入就是将工件放在离子注入机的真空靶室中，在几十至几百千伏下，把所需元素离子注入工作表面，形成一层在组织和结构上都不同于底材注入层，从而改善材料性能 ? 离子注入的基本过程 将某种元素的原子或携带该元素的分子经离化变成带电的离子 在强电场中加速，获得较高的动能 注入材料表层（靶）以改变这种材料表层的物理或化学性质 4.1离子注入的特点 2016/3/28 Advantages 非热平衡过程，因此原则上可以将任何元素注入固体中，注入元素的种类、能量和剂量均可选择，并能精确控制。 由于离子实在高能状态强行挤入基体的，因此基体材料不受限制，不受传统合金化规则如热力学、相平衡和固溶度等物理冶金学因素的制约，可获取新合金相 注入元素进入基体后成高斯分布，不形成新的界面，没有因届满引起的腐蚀、开裂等涂层易引起的缺陷，从而解决许多涂层技术中存在的粘附问题和热膨胀系数不匹配问题 低温过程（因此可用多种材料作掩膜，如金属、光刻胶、介质）；避免了高温过程引起的热扩散；易于实现对化合物半导体的掺杂； 横向效应比气固相扩散小得多，有利于器件尺寸的缩小 高真空条件进行不受环境影响，基体外表无残留物，能保持原有的外廓尺寸精度和表面