Q_320506 ZRH06-2019RZJ正性光刻胶企业标准.pdf

分类号：G64 备案号： Q/ZRH 苏州瑞红电子化学品有限公司企业标准 Q/320506ZRH06－2019 代替Q/320506 ZRH06-2016 RZJ正性光刻胶 2019-06-28发布 2019-06-28实施 苏州瑞红电子化学品有限公司 发布 Q/320506ZRH06－2019 前 言 《RZJ正性光刻胶》因目前尚无相应的国家或行业标准，故根据 《中华人民共和国标准化法》的规 定，曾于1995年制定本企业标准，作为组织生产和产品质量检验的依据。现按规定进行复审，经复审， 其技术内容仍适应生产和使用要求。 本标准参照采用了日本瑞翁公司同类产品规格。 本标准按照GB/T1.1—2009 《标准化工作导则：标准的结构和编写规则》的编写。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利，本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准由苏州瑞红电子化学品有限公司起草并提出。 本标准主要起草人：杨玥、季昌彬、赵佳、徐亮。 本标准于2019年6月28 日发布并实施。 本标准有效期限为叁年。 本标准代替了Q/320506 ZRH06-2016。 Q/320506 ZRH06-2016的历次版本情况为： — Q/320506ZRH06-2015、Q/320506ZRH006-2012、Q/320506ZRH006-2009、Q/320506ZRH006-2006、 — Q/320506 ZRH006-2003、Q/320586 ZRH006-1999、Q/320586 ZRH006-1995。 I Q/320506ZRH06－2019 RZJ正性光刻胶 1 范围 本标准规定了RZJ正性光刻胶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输及 贮存。 本标准适用于由酚醛树脂、光敏剂、溶剂及添加剂组成的正性光刻胶，该产品主要用于液晶显示器 和大规模集成电路制作的光刻工艺。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 265-1988 石油产品运动粘度测定法和动力粘度计算法 GB/T 606-2003 化学试剂 水分测定通用方法 卡尔 ·费休法 HG/T 3921-2006 化学试剂 采样及验收规则 3. 术语和定义 以下术语和定义适合于本标准。 光刻胶 光刻胶又称光致抗蚀剂，是利用光化学反应进行图形转移的媒体，是一类品种繁多、性能各异， 应用极为广泛的精细化学品。 正性光刻胶 是一种能够利用光化学反应进行图形转移，转移后的图形与模板图形正向一致的光刻胶，称为 正性光刻胶。 感度 试验光刻胶样品与标准光刻胶样品在相同的仪器、相同的试验条件下用透光率步进掩膜版，对 试样和标准样品作交叉曝光后，试样与标准样品作比较胶膜消失产生台阶值的相对比较值。 微粒子浓度 液体中微粒子的直径≥0.5µm所测试到的浓度值。