14扫描电子显微镜.ppt

12—2 扫描电子显微镜的构造和工作原理 SEM组成: 1.电子光学系统. 2.信号收集处理、图像显示和记录系统. 3.真空系统 见图12—3. 图12-3 扫描电镜结构原理方框图 一、电子光学系统（镜筒） 电子光学系统包括电子枪、电磁透镜、扫描线圈和样品室。 1．电子枪 扫描电子显微镜中的电子枪与透射电子显微镜的电子枪相似，只是加速电压比透射电子显微镜低。 SEM中的电磁透镜都不作成像透镜用，而是作聚光镜用. 功能:把电子枪的束斑(虚光源)逐级聚焦缩小，使原来直径约为50um的束斑缩小成一个只有数个nm的细小斑点，要达到达样的缩小倍数，必须用几个透镜来完成。 2.电磁透镜 SEM一般都有3个聚光镜，前2个聚光镜是强磁透镜，可把电子束光斑缩小．第3个透镜是弱磁透镜（物镜），具有较长的焦距。 布置物镜目的在于使样品室和透镜之间留有一定的空间，以便装入各种信号探测器。 2.电磁透镜 SEM照射到样品上的电子束直径越小，就相当于成像单元的尺寸越小，相应的分辨率就越高。 采用普通热阴极电子枪时，电子束斑直径可达到6nm左右。若采用六硼化钄阴极和场发射电子枪，电子束直径还可进一步缩小。 我院的SEM 3．扫描线圈 其作用是使电子束偏转，并在样品表面作有规则的扫动，电子束在样品上的扫描动作和显像管上的扫描动作保持严格同步(由同一扫描发生器控制)。 图12-4示出电子