现代光信息传感原理(第2版)教学课件(PPT)CH1 光电信息传感201403.pptVIP

LC =37的LED光源干涉波形照片 * Na、Ng：a能级和基态能级的粒子数密度，Ga：能级a的简并度，Ea：a能级的能量 * 1.4.6 椭偏术在薄膜测量中（p57-61） 椭偏术 薄膜厚度、折射率、吸收率 适用于反射膜和透射膜 影响测量的因素 环境气氛（真空） 基片质量 温度、压力、电场 * 1.5 波长调制型光电传感器 定义：外界因素调制光波的波长 测量对象：波长的移动 优点：抗干扰能力强 困难：波长移动的准确测量—纳米量级 * 1.5.2 激光多普勒测速(LDV) 原理：运动粒子散射光的Doppler频移 * LDV原理 * 1.5.3 激光感生荧光测量温度 机理：不同能级上的粒子数的相对比例?温度 方法 由被测分子的荧光激励光谱（强度随激发波长的变化）?振动/转动能级粒子数分布 ? 温度 特点：需要波长扫描，不适合紊流和爆炸等快速测量 * 玻尔兹曼公式 例1-6：单脉冲激光感生荧光法测量火焰温度 单脉冲测量特点：温度、浓度可同时测量 步骤： 激光器的波长调谐到电子激发态v=0能级； 设：仅考虑振动跃迁，稳态 N1： 测量v=1和v=0向下跃迁的荧光强度?N1、N0 N1/N0?T 向下/上跃迁几率 爱因斯坦系数v=1 猝灭率 1.5.4 激光Raman散射测温 自发激光Raman散射测量温度 受激激光Raman散射测量温度 相干反斯托克斯Raman光谱测温技术—CARS（Coherent Anti-Stokes Raman Spectroscopy） 特点： 高分辨（光谱、空间、时间）、高灵敏度 仅用于透明介质、弱光检测难、实验装置贵 * 例：氮在不同温度下的CARS计算谱 * 窄带扫描CARS实验装置 * 1.6 光测高温术 原理：高温物体的发射光谱和温度的关系 方法 测量发射总能量—利用Plank黑体辐射定 测量发射峰值波长—Wien位移定律 例 例1、太阳看成黑体（6150K） 高压氙灯（5000~6000K） 例2、消丝高温计—待测高温物体和标准黑体比较 * 1.7 衍射型光电传感器 原理：光的衍射定理 Fraunhofer衍射：单缝/细丝/ 矩孔/圆孔/圆屏 Fresnel衍射：直边/圆孔 用途：测量单缝、细丝、 矩孔、圆孔、圆屏等的尺寸，工件的位移、应变等 * * 特点：在面光源的几何像范围内，由于干涉 ? 光强再分布? 干涉圆环 衍射 光源 小孔 光源像 特点：在光源的几何像范围外，由于干涉 ? 光强再分布 ? 衍射园环 结论：干涉—符合直线传播规律，干涉条纹出现在几何像范围内 衍射—偏离直线传播规律，衍射条纹出现在几何像范围外 * 0.047 0.017 0.008 1.0 0.75 0.5 I/I0 -3 π -2 π –π 0 π 2 π 3 π π Χ 相对光强 第一级 第二级 第三级 第四级 次极大位置 ±1.43? ±2.46? ±3.47? ±4.48? 次极大光强 0.0472 0.0166 0.0083 0.0050 1.7.3 典型衍射型光电传感器设计 1、选择测量方式 直接测量—单缝、圆孔、直边等形状对象，平行激光束+垂直入射，在满足远场衍射条件处放置探测器 参考测量—不满足上述要求的对象，用直边(或其它参考物)和测量对象构成单缝等衍射屏，再按上述测量 对称测量—根据衍射条纹的对称性，检测系统的同轴性和方位等 空间谱测量—根据测量对象的空间频率谱(利用傅立叶光学的原理)，检测工件的二维结构质量 2、光源的选择----要求比干涉型低 5、光电转换单元的设计—采用CCD 其他步骤和要求都与干涉型相同 * 单缝条纹宽度及其影响因素 波长对条纹宽度的影响 缝宽对条纹宽度的影响 * 1.7.4 光波空间频率检测法 光波空间频率检测法是根据付里叶光学中物和物的空间频率谱的对应关系，来检测物体的空间结构，看其是否符合设计要求和检测加工质量。 付里叶光学的基础：任一光波均可分解成许多向空间各方向传播的平面波的组合，每一平面波成份和一组空间频率值对应。 * 薄透镜的付里叶变换性质 利用薄透镜对光波相位的调制作用，可以进行光学付里叶变换 * * 上式说明是物的付里叶变换。即：在点光源的像平面上的光场复振幅分布是物振幅透过率的夫琅和费衍射，或者说，除一个位相因子外是付里叶变换。它说明利用透镜可进行付里叶变换的模拟计算。显见：当物在透镜前焦平面， * 1） 相干光照明时，点光源的像平面上是物的付里叶变换，不论物放在透镜前或放在透镜后。 2） 光源、物、透镜相对位置改变时，可改变空间谱的尺寸。 3） 用平行