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第11章 电子探针显微分析仪(X射线显微分析仪) (EPMA) X射线显微分析仪 1. 引言 此章的目的是讲述电子探针显微分析仪器(EPMA, EMA)的工作原理及应用。EMA与扫描电镜(SEM)有很密切的关系，然而，就当初研制的目的来说却是完全不同的。第一台商品EMA出现在50年代后期，比扫描电镜子5年。Raymond castaing (1951) 论述了电子探针的基本概念。他讲述了自己设计并制造的仪器的结构，由他发展并一直沿用至今的定量分析方法的基础工作，并展示了首批应用研究工作。电子探针仪中的探针形成及成像原理是与SEM相似的，其中包括产生一束聚集得很细的电子束的电子光学柱体，一个扫描系统，一个或几个电子探测器，和包括一个阴极射线管(CRT)的显示系统。 X射线显微分析仪 EMA与SEM不同的是，前者着重微区成分分析而后者主要用作图像观察。EMA和SEM中作微区化学成分分析都基于测量电子束激发产生的x射线。这些x射线的标定和测量可以用能谱仪(EDS)或晶体分光谱仪(CDS)，后者有时称作波谱仪(WDS)。 虽然，近年来SEM配上EDS系统这种配置的仪器使用日益广泛，但请记住．由于EMA本身的一些特点，使它在做微区成分分析上的优越性明显地胜过SEM。EMA一般配几道CDS，并有非常稳定的样品台和电子光学系统。这种设计，使它进行元素定量分析的准确性较高，有利于轻元素的定性