电镜微区成分分析技术.pptVIP

扫描电镜微区成分分析技术 扫描电镜的成分分析技术是20世纪70年代发展起来的，并在各个科学领域得到广泛应用。该项技术打破了扫描电镜只作为形态结构观察仪器的局限性，使形态观察与样品的化学元素成分分析结合起来，从而大大地扩展了它的研究能力。与传统的化学和物理分析相比，它具有如下优点: 1.可以分析小于1μm的样品中的元素。 2.能在微观尺度范围内同时获得样品的形貌、组成分析及其分布形态等资料，为研究样品形态结构、组成元素提供了便利。 3.分析操作迅速简便，实验结果数据可靠，而且可用计算机进行处理。 4.可对样品进行非破坏性分析。 微区成分分析是指在物质的微小区域中进行元素鉴定和组成分析,被分析的体积通常小于1μm3 ,相应被分析物质的质量为10-12 g数量级。 如果应用从物质中所激发出的特征X射线来进行材料的元素分析，则这种分析称为X射线分析技术。该技术可分为X射线波谱分析法(WDS,X射线能谱分析(EDS)和X射线荧光分析法(XFS) 三种，其中WDS和EDS适宜进行微区的元素分析，因此这两种分析方法又称为X射线显微分析技术。 从电子光学仪器的发展历史来看，最早作为元素分析的专用仪器称为电子探针(EPMA)，它以波谱分析法为基础;其后随着扫镜电镜的发展，为了适应其工作的特点，又以能谱分析法作为X射线元素分析的基础。 在扫描电镜的各种成分分析技术中，X射线元素分析法的分析精